[发明专利]一种旁置式精密角位移自行检测系统

权利要求书

1.一种旁置式精密角位移自行检测系统，其特征在于，所述系统具有一组或多组独立的电磁测头，所述电磁测头围绕分布于被检机械上相对转动的、具有空间机械等分特征的金属齿状体的与齿相对的一侧，构成定子，而相对转动的金属齿状体构成转子；

所述电磁测头包括导磁基体和线圈，导磁基体为圆环的一段，导磁基体在面对金属齿状体的一面上同时具有轴向开槽和切向开槽，且切向开槽的槽宽小于轴向开槽的槽宽；所述线圈包括激励线圈和感应线圈，线圈先沿轴向绕制，再沿切向串联；

所述电磁测头的线圈与微处理器及信号处理电路连接，微处理器内置有误差修正处理模块；

所述电磁测头、微处理器、信号处理电路和被测机械的相对转动金属齿状体共同构成一套能够自行输出精密位移信息的自行检测机械系统。

2.根据权利要求1所述的旁置式精密角位移自行检测系统，其特征在于，所述导磁基体的齿顶分别沿切向和轴向设计成弧形。

3.根据权利要求2所述的旁置式精密角位移自行检测系统，其特征在于，所述齿顶的弧形为正弦、余弦或其他弧形形状。

4.根据权利要求1-3之一所述的旁置式精密角位移自行检测系统，其特征在于，所述电磁测头覆盖被测机械的金属齿状体的齿数与电磁测头的齿数比例符合2KN±1:2KN，其中K为正整数，N为电磁测头上所加激励的相数；

且电磁测头的齿宽与槽宽比例符合以下规则：

L3=L2              (1)

L4=M(L1+L2)  M=1,2,3……   (2)

其中，L1是金属齿状体的槽宽，L2是金属齿状体的齿宽，L3是电磁测头的齿宽，L4是电磁测头的槽宽，M为正整数。

5.根据权利要求1-3之一所述的旁置式精密角位移自行检测系统，其特征在于，所述每个电磁测头除包含基本的导磁基体和激励、感应线圈外，还有信号补偿线圈，它采用与激励线圈相同的绕制方法绕在导磁基体上，信号补偿线圈由一套独立的补偿交流电源提供补偿激励，其电压幅值、相位、频率成分均可调整。

6.根据权利要求1-3之一所述的旁置式精密角位移自行检测系统，其特征在于，所述电磁测头旁置于相对转动金属齿状体的外圆相对一侧。

7.根据权利要求1-3之一所述的旁置式精密角位移自行检测系统法，其特征在于，所述被测机械的金属齿状体为齿轮、蜗轮、电机、轴承等。

8.根据权利要求1-3之一所述的旁置式精密角位移自行检测系统，其特征在于，首次使用所述自行检测机械系统前，先要利用高精度的角位移测量装置对自行检测机械系统的进行位移测量，将测量结果与自行检测机械系统的自测结果进行对比得出自行检测机械系统的固有测量误差，存储于微处理器，以后在实际测量或控制中补偿此固有测量误差部分，达到误差修正后输出精密位移信息的效果。