[发明专利]光谱仪氩气激发系统

权利要求书

1.一种光谱仪氩气激发系统，其特征在于，包括强吹气路（A）、主气路（B）、侧气路（C）、公共气路（D）、快门控制气路（E），上述各气路设置在光谱仪氩气激发系统的集成气路板（1）上；

所述强吹气路（A）的气流入口为气源（17），气流出口为第一出气口（18）；

所述公共气路（D）的气流入口为气源（17），并连接所述快门控制气路（E）；

所述主气路（B）的气流入口在所述公共气路（D）上，并设置有氩气表（3），气流出口为第一出气口（18）；

所述侧气路（C）的气流入口在所述公共气路（D）上，气流出口为第二出气口（19）；

所述快门控制气路（E）的气流出口为第三出气口（20）；

上述各气路上分别设置有至少一个电磁阀。

2.根据权利要求1所述的光谱仪氩气激发系统，其特征在于，

所述强吹气路（A）上设置有第一电磁阀（9）；

所述公共气路（D）上设置有压力减压阀（2）；

所述主气路（B）为“Y”型气路，包括第一主气路支路（b1）、第二主气路支路（b2）、主气路输出支路（b3），所述第一主气路支路（b1）和第二主气路支路（b2）的气流输出端与所述主气路输出支路（b3）的气流入口相连；所述第一主气路支路（b1）的气流入口为所述公共气路（D）上压力减压阀（2）的气流输出端，所述第一主气路支路（b1）上设置有第一节流阀（5）和第二电磁阀（11）；所述第二主气路支路的气路入口为氩气表（3），所述第二主气路支路（b2）的气路与公共气路（D）连通，其连通点在第一主气路支路（b1）气流入口下游，并设置有第二节流阀（6）；所述主气路输出支路（b3）上设置有第一流量计（16）和第三电磁阀（12）；

所述侧气路为“Y”型气路，包括第一侧气路支路（c1）、第二侧气路支路（c2）、侧气路输出支路（c3），所述第一侧气路支路（c1）和第二侧气路支路（c2）的气流输出端与所述侧气路输出支路（c3）的气流入口相连；所述第一侧气路支路（c1）的气流入口在所述公共气路（D）上，且位于所述第二主气路支路（c2）气流入口的下游，所述第一侧气路支路（c1）上设置有第三节流阀（8）和第四电磁阀（13）；所述第二侧气路支路（c2）的气路入口在所述公共气路（D）上，且位于所述第一侧气路支路（c1）气流入口的下游，所述第二侧气路支路上设置有第四节流阀（7）；所述侧气路输出支路（c3）上设置有第二流量计（15）和第五电磁阀（14）；

所述快门控制气路（E）与所述公共气路（D）相连，所述快门控制气路（E）的气流入口与所述第二侧气路支路（c2）相连通，所述快门控制气路（E）上设置有第六电磁阀（10）。

3.根据权利要求2所述的光谱仪氩气激发系统，其特征在于，

所述公共气路（D）上还设置有压力传感器（4），所述压力传感器（4）连接在所述压力减压阀（2）的气流输出端。

4.根据权利要求3所述的光谱仪氩气激发系统，其特征在于，

所述第一电磁阀（9）、第二电磁阀（11）、第三电磁阀（12）、第四电磁阀（13）、第五电磁阀（14）为两位两通电磁阀；

所述第六电磁阀（10）为两位三通电磁。