[发明专利]等离子体处理装置

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，具备被提供高频电力的处理室，使上述处理室内产生等离子体而使用该等离子体对被处理体实施处理，该等离子体处理装置的特征在于，还具备：

第一时间微分部，其对施加给上述处理室的高频电力的行波电压进行时间微分；

第二时间微分部，其对从上述处理室返回的高频电力的反射波电压进行时间微分；

判断部，其计算与上述反射波电压的时间微分值和上述行波电压的时间微分值的差分对应的值，在计算出的该与差分对应的值超过规定的阈值的情况下，判断为在上述处理室内产生了电弧放电；以及

微分值变更部，其在上述行波电压的时间微分值为负值的情况下，至少变更上述反射波电压的时间微分值和上述行波电压的时间微分值中的某一个，使得上述与差分对应的值变得小于规定的阈值。

2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，

上述判断部具有被输入上述行波电压的时间微分值的第一输入部以及被输入上述反射波电压的时间微分值的第二输入部，

上述微分值变更部至少与第一输入部和第二输入部中的某一个相连接。

3.根据权利要求1或者2所述的等离子体处理装置，其特征在于，

上述与差分对应的值是从上述反射波电压的时间微分值减去上述行波电压的时间微分值所得的值。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的等离子体处理装置，其特征在于，

在上述行波电压的时间微分值为负值的情况下，上述微分值变更部将上述行波电压的时间微分值设为0。

5.根据权利要求4所述的等离子体处理装置，其特征在于，

上述微分值变更部包括二极管。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的等离子体处理装置，其特征在于，

在上述行波电压的时间微分值为负值的情况下，上述微分值变更部减小上述行波电压的时间微分值的绝对值。

7.根据权利要求1～3中的任一项所述的等离子体处理装置，其特征在于，

在上述行波电压的时间微分值为负值的情况下，上述微分值变更部减小上述反射波电压的时间微分值。