[发明专利]一种用于光刻机的浸液维持、更新装置

权利要求书

1.一种用于光刻机的浸液维持、更新装置，其特征在于：包括安装面板、第一液体进口、第二液体进口、第一液体抽取口、第二液体抽取口和第三液体抽取口，安装面板中设置气体/液体通道，与第一液体进口、第一液体抽取口、第二液体进口、第二液体抽取口、第三液体抽取口相连接；第二液体抽取口位于第二液体进口外侧，第二液体抽取口被嵌于第三液体抽取口内侧，所述第三液体抽取口为多孔板。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，第二液体进口、第二和第三液体抽取口均具有相应的面板端开口、衬底端开口以及腔体结构，且面板端开口和衬底端开口位于腔体结构两侧，面板端开口与面板相连，衬底端开口与衬底相连。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，第二液体进口和第二液体抽取口均为周向环形结构，第一液体进口和第一液体抽取口分别位于第二液体进口的对角线的两端，第三液体抽取口的内轮廓与第二液体抽取口的内轮廓相同。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，第一液体进口和第一液体抽取口均具有相应的通道和接口，第一进口通道和第一抽取口通道均为矩形通道，且末端为敞口结构。

5.根据权利要求3所述的装置，其中，所述第一抽取口通道比第一进口通道大。

6.根据权利要求3所述的装置，其中，所述对角线与衬底的扫描方向垂直。

7.根据权利要求1-6中任意一个所述的装置，其中，所述第二液体进口和第二液体抽取口的衬底端开口的开孔方向可以垂直于衬底表面，也可以以一定角度开孔。

8.根据权利要求7所述的装置，其中，所述开孔方向的角度为向内侧0°～30°。

9.根据权利要求1-6中任意一个所述的装置，其中，所述第二液体进口和第二液体抽取口的衬底端开口的开孔形式可以为圆形孔、菱形孔或矩形孔。

10.根据权利要求9所述的装置，其中，所述第二液体进口的衬底端开口的大小小于第二液体抽取口的衬底端开口的大小。

11.根据权利要求1所述的装置，其中，所述多孔板的外轮廓为圆形或矩形环状结构。

12.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二液体进口、第二和第三液体抽取口的下表面保持在同一高度。

13.根据权利要求12所述的装置，其中，第二和第三抽取口均为负压抽取。

14.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二液体进口的流量和第二液体抽取口的气体抽取流量满足其中，ρ_air为气体密度，v_air为气体速度，ρ_water为液体密度，v_water为液体流速，p_static为静压差。