[发明专利]监视装置以及控制系统

权利要求书

1.一种监视装置，其特征在于，具有：

取得由传感器测量到的物理量的取得部；

预测部，所述预测部基于由该取得部取得的所述物理量，制作包含将来的所述物理量的预测值的所述物理量的时序数据；

时间算出部，所述时间算出部基于所述时序数据，计算出所述物理量达到第一阈值为止的预测时间；以及

输出部，所述输出部在所述预测时间比规定时间要短时，输出将所述时序数据图表化后而得到的趋势图和所述预测时间。

2.如权利要求1所记载的监视装置，其特征在于，

所述输出部将所述趋势图和所述预测时间输出至其他显示装置。

3.如权利要求1或2所记载的监视装置，其特征在于，

所述时间算出部在所述物理量达到稳定值与所述第一阈值之间的第二阈值时，计算出所述预测时间。

4.一种控制系统，具有：

与工艺设备的构件相互对应设置的传感器以及执行机构；

控制装置，所述控制装置基于由所述传感器测量到的物理量控制所述执行机构的驱动；

监视装置，所述监视装置基于由所述传感器测量到的物理量对所述构件的状态进行监视；和

显示所述构件的状态的显示装置，

所述控制系统的特征在于，

所述监视装置由权利要求1至3中的任意一项所记载的监视装置构成，

所述输出部将所述趋势图和所述预测时间输出至所述显示装置。