[发明专利]金属剥离工具和方法

权利要求书

1.一种金属剥离方法，包括：

a.将晶圆盒浸没在浸没槽内的工作流体中，该浸没槽具有相对的第一侧壁和第二侧壁以及底部；

b.直接朝向晶圆的表面引导来自沿着所述浸没槽的至少一个侧壁定位的主要的流体喷洒器的工作流体流，使得该工作流体流流在该盒中的晶圆的表面上，同时该盒浸没在该工作流体中；

c.在引导来自主要的流体喷洒器的工作流体流的同时，在所述浸没槽内抬升和降低该晶圆盒以穿过所述主要的流体喷洒器；以及

d.引导来自定位在该浸没槽的底部处的次要的流体喷洒器的工作流体流，使得工作流体流相对于该浸没槽的底部直接在朝上方向上流动。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括将该晶圆盒间歇地降低到被浸没的静态提升组件上，从而周期性地将所述晶圆从该盒的较低部分提升，同时由所述主要的流体喷洒器和/或所述次要的流体喷洒器喷洒工作流体流。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述主要的流体喷洒器和所述次要的流体喷洒器水平地从该浸没槽的仅一侧以及从所述晶圆下方同时地喷洒工作流体流、或者水平地从所述晶圆的另一侧以及从该浸没槽的底部同时地喷洒工作流体流。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括定位在该浸没槽的第一侧壁和第二侧壁处的主要喷洒器，从而在晶圆表面上喷射工作流体流，以及其中当该晶圆盒在工作流体流中被抬升和降低时，该次要喷洒器和第一侧壁的所述主要喷洒器同时地喷洒工作流体持续一个预定时间段，以及之后，当该晶圆盒在工作流体流中被抬升和降低时，所述次要喷洒器和第二侧壁的所述主要喷洒器同时地喷洒工作流体持续一个预定时间段。

5.根据权利要求1所述的方法，其中来自所述主要的流体喷洒器的工作流体流平行于所述晶圆的平面表面。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述工作流体被加热。

7.根据权利要求1所述的方法，还包括所述浸没槽中的内部堰，以及其中来自所述次要喷洒器的工作流体流迫使所述工作流体中的经剥去的金属片流过所述内部堰。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括在外部堰中收集所述工作流体和经剥去的金属片，继而将所述经剥去的金属片过滤出所述工作流体，并且将所述工作流体再循环至所述浸没槽。

9.根据权利要求1所述的方法，其中当所述晶圆被加工时，所述工作流体被周期性地从所述浸没槽中排放。

10.根据权利要求1所述的方法，其中超声能量用在流体工艺槽中。

11.金属剥离装置，包括：

a.浸没槽，具有相对的第一侧壁和第二侧壁以及底部，所述浸没槽被定尺寸以接收晶圆盒和工作流体；

b.主要喷洒器，定位在所述浸没槽的相对的第一侧壁和第二侧壁上；

c.次要喷洒器，定位在所述浸没槽的底部上，且被定位成使得工作流体流相对于所述浸没槽的底部直接在朝上方向上流动；

d.固定的提升组件，定位在所述浸没槽的底部处，用于当所述盒沉没在所述浸没槽中时将晶圆从所述盒的底部部分提升一个距离；以及

e.升降机构，能连接至晶圆盒，用于当晶圆盒保持浸没在所述浸没槽中时抬升和降低晶圆盒。

12.根据权利要求11所述的金属剥离装置，还包括所述浸没槽中的内部堰，所述次要喷洒器迫使来自所述浸没槽的内部堰的经剥去的金属片流过所述内部堰。

13.根据权利要求12所述的金属剥离装置，还包括在所述浸没槽的底部中所形成的凹口区域，未被迫使流过所述内部堰的经剥去的金属片被收集在所述凹口区域中。

14.根据权利要求13所述的金属剥离装置，还包括一个活塞阀，所述活塞阀定位在所述凹口区域下方且连接至所述凹口区域，使得当所述活塞阀在工艺循环之间被打开时允许所述凹口区域中的金属片流动至次要的流体储液器。

15.根据权利要求12所述的装置，还包括一个外部堰，用于收集流过所述浸没槽的所述内部堰的工作流体和经剥去的金属片。

16.根据权利要求15所述的装置，还包括一个筛，用于从流自所述外部堰的工作流体截获经剥去的金属片。

17.根据权利要求15所述的装置，还包括一个过滤回路，用于从所述流体流移除金属颗粒。