[发明专利]一种储藏柜及控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体加工领域，尤其涉及一种应用于半导体加工设备的自动物料搬送系统的储藏柜及控制方法。

背景技术

现有的半导体加工设备使用的自动物料搬送系统（AMHS，Automatic Material Handling System）通常需要采用储藏柜（Stocker）来临时放置等待进入半导体加工设备，或者从半导体加工设备流出的基片。

通常在AMHS中使用的储藏柜一般会具有一用以承托基片的承载平台，当基片由AMHS中的机械臂（Robot）的承托部（Arm）承托至承载平台的承载面时，如图1至图3所示，承载平台1上设置的多个支撑脚（Pin）10在系统控制下向上升起，对基片0形成支撑，此时机械臂的承托部4从支撑脚10的排列空隙中水平的移动并撤出基片0与承载平台1之间，随后支撑脚10放下，使基片置于承载平台1的承托面11上。

当承载平台上的基片需要移走时，先由承载平台上的支撑脚向上升起，将承载平台上的基片托起，随后，机械臂的承托部水平的伸入基片与承载平台之间后向上升起，使机械臂的承托部形成对基片的支撑，机械臂移动带走基片，承载平台上的支撑脚放下。

上述现有的实施方式中，无论是基片放入储藏柜，还是基片从储藏柜中移走，都需要由承载平台上的支撑脚与基片进行触碰，这种触碰可能造成基片损伤，同时可能造成静电风险（ESD，Electro-Static discharge）。

发明内容

针对现有的储藏柜存在的上述问题，现提供一种旨在减少基片进出时发生触碰的储藏柜及控制方法。

具体技术方案如下：

一种储藏柜，应用于半导体加工设备的自动物料搬送系统，包括承托基片的承载平台，其中，还包括：

压缩空气源，用以形成压缩空气；

空气喷射装置，设置于所述承载平台上，并与所述压缩空气源连接，用于可控制的自所述承载平台的承托面，向上方喷射来自所述压缩空气源的压缩空气，以托起所述承载平台承托的基片，并使所述基片悬浮于所述承载平台上方。

优选的，所述承载平台的承托面设置有匹配所述自动物料搬送系统的机械臂的承托部的凹槽。

优选的，所述压缩空气源主要由一空气压缩机形成。

优选的，所述空气喷射装置主要由设置于所述承载平台的承托面上的喷气嘴以及控制所述喷气嘴喷射压缩空气和不喷射压缩空气的控制装置形成，所述喷气嘴顶部齐平于或者低于所述承载平台的承托面。

优选的，所述压缩空气源设置有压力调整装置，用以调整所述压缩空气的压力。

优选的，所述空气喷射装置设置有压力调整装置，用以调整喷出所述压缩空气的压力。

优选的，所述空气喷射装置通过管道与所述压缩空气源连接，所述管道上设置有压力调整装置，用以调整所述压缩空气的压力。

优选的，所述喷气嘴均布于所述承载平台承托所述基片时与所述基片重合的范围内。

优选的，还包括离子发生装置，所述离子发生装置连接于所述压缩空气源及所述空气喷射装置之间，用于电离所述压缩空气源形成的压缩空气以产生离子风。

优选的，所述离子发生装置的控制部分与所述空气喷射装置连接，用以控制所述离子发生装置于所述空气喷射装置喷射压缩空气时工作。

一种储藏柜的控制方法，应用于半导体加工设备的自动物料搬送系统，其中，包括以下步骤，

步骤a1、所述储藏柜的承载平台通过一空气喷射装置喷射压缩空气，使处于所述承载平台的承托面上的基片浮起；

步骤a2、所述自动物料搬送系统的机械臂的承托部伸入所述基片与所述承载平台之间，并向上托起所述基片；

步骤a3、所述空气喷射装置停止喷射压缩空气。

一种储藏柜的控制方法，应用于半导体加工设备的自动物料搬送系统，其中，包括以下步骤，

步骤b1、所述自动物料搬送系统的机械臂的承托部承托基片移动至所述储藏柜的承载平台上方；

步骤b2、所述储藏柜的承载平台通过一空气喷射装置喷射压缩空气，使处于所述承托部上的基片浮起；

步骤b3、所述机械臂水平移动，使所述承托部从所述承载平台与所述基片之间离开；

步骤b4、所述承载平台通过一压力调整装置调整所述空气喷射装置喷射出的压缩空气的压力，使所述压缩空气的压力逐步减小直至停止喷射，以使所述基片与所述承载平台的距离逐渐缩小直至所述基片与所述承载平台的承托面接触，并由所述承托面对所述基片形成支撑。

一种自动物料搬送系统，其中，包括上述储藏柜。