[发明专利]一种三维纳米尺度光子晶体力传感器有效
| 申请号： | 201410074862.9 | 申请日： | 2014-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN103808441A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 李隆球;张广玉;纪凤同;李天龙 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 张宏威 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 三维 纳米 尺度 光子 晶体 传感器 | ||
1.一种三维纳米尺度光子晶体力传感器，其特征在于，它包括一号微悬臂梁传感器（1）、二号微悬臂梁传感器（2）、三号微悬臂梁传感器（3）和纳米谐振腔（4），
所述一号微悬臂梁传感器（1）和二号微悬臂梁传感器（2）的结构相同，所述一号微悬臂梁传感器（1）为长方体的平板结构，该平板结构的正面嵌有相互平行的两条纳米谐振腔（4），所述纳米谐振腔（4）平行于所述平板结构的短边；在所述两条纳米谐振腔（4）与所述平板结构的末端之间的背面设置有凸起的基座（1-1）；
二号微悬臂梁传感器（2）位于三维直角坐标系的XOZ平面上，且二号微悬臂梁传感器（2）的基座（2-1）位于Y轴负方向，一号微悬臂梁传感器（1）位于三维直角坐标系的XOY平面上，且一号微悬臂梁传感器（1）的基座（1-1）位于Z轴负方向，所述一号微悬臂梁传感器（1）位于二号微悬臂梁传感器（2）两条短边的中心连线上，且一号微悬臂梁传感器（1）一个侧面与二号微悬臂梁传感器（2）首端侧面位于同一平面内；
所述三号微悬臂梁传感器（3）为L形的平板结构，且所述三号微悬臂梁传感器（3）的底端为L形基座（3-1），所述L形的平板结构的内侧面嵌有相互平行的两条纳米谐振腔（4），所述纳米谐振腔（4）平行于所述L形的平板结构的顶边，且所述纳米谐振腔（4）位于YOZ面上，所述三号微悬臂梁传感器（3）位于三维直角坐标系的YOZ平面上，且三号微悬臂梁传感器（3）的L形基座（3-1）位于X轴正方向，所述一号微悬臂梁传感器（1）的顶端垂直且平分三号微悬臂梁传感器（3）的L形基座（3-1），且一号微悬臂梁传感器（1）的一个侧面与三号微悬臂梁传感器（3）的外侧面位于同一平面内。
2.根据权利要求1所述的一种三维纳米尺度光子晶体力传感器，其特征在于，纳米谐振腔（4）的形状为带状。
3.根据权利要求1所述的一种三维纳米尺度光子晶体力传感器，其特征在于，一号微悬臂梁传感器（1）上的两条纳米谐振腔（4）的长度与所述一号微悬臂梁传感器（1）的宽度相等。
4.根据权利要求1所述的一种三维纳米尺度光子晶体力传感器，其特征在于，所述纳米谐振腔（4）为三维光子晶体。
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