[发明专利]一种用于太阳能硅片制造的复合切割液及其制备方法无效
| 申请号： | 201410075366.5 | 申请日： | 2014-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN103952211A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 李新家;石冬梅 | 申请（专利权）人： | 西安通鑫半导体辅料有限公司 |
| 主分类号： | C10M169/04 | 分类号： | C10M169/04;C10M105/14 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710300 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能 硅片 制造 复合 切割 及其 制备 方法 | ||
1.一种用于太阳能硅片制造的复合切割液，其特征在于，按照体积份数计，包括以下组份：
2.根据权利要求1所述的用于太阳能硅片制造的复合切割液，其特征在于：还包括5～20份的粘度调节剂。
3.根据权利要求2所述的用于太阳能硅片制造的复合切割液，其特征在于：所述的粘度调节剂为丙三醇、聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇800或聚乙二醇1000的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的用于太阳能硅片制造的复合切割液，其特征在于：所述的缓蚀剂为苯并三氮唑、三乙醇胺或三乙醇胺硼酸酯中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的用于太阳能硅片制造的复合切割液，其特征在于：所述的消泡剂为SRECN消泡剂、二甲基硅油、DE889消泡剂或有机硅消泡剂SE-47中的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的用于太阳能硅片制造的复合切割液，其特征在于：所述的分散剂为Tamol NN分散剂或亚甲基双萘磺酸钠。
7.根据权利要求1所述的用于太阳能硅片制造的复合切割液，其特征在于：所述的防腐剂为苯甲酸、对羟基苯甲酸丙酯或异喹啉酮中的一种或多种。
8.一种用于太阳能硅片制造的复合切割液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
将5～20份的粘度调节剂充分溶解在70～90份的乙二醇中，搅拌均匀后向混合液中加入0.1～10份的缓蚀剂并搅拌至混合均匀，再向混合液中加入0.1～10份的消泡剂并搅拌至混合均匀，然后再向混合液中加入0.1～10份的分散剂并搅拌至混合均匀，最后再向混合液中加入0.1～10份的防腐剂并搅拌至混合均匀，得到用于太阳能硅片制造的复合切割液。
9.根据权利要求8所述的用于太阳能硅片制造的复合切割液的制备方法，其特征在于：所述的粘度调节剂为丙三醇、聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇800或聚乙二醇1000的一种或多种；所述的缓蚀剂为苯并三氮唑、三乙醇胺或三乙醇胺硼酸酯中的一种或多种；所述的消泡剂为SRECN消泡剂、二甲基硅油、DE889消泡剂或有机硅消泡剂SE-47中的一种或多种；所述的分散剂为Tamol NN分散剂或亚甲基双萘磺酸钠；所述的防腐剂为苯甲酸、对羟基苯甲酸丙酯或异喹啉酮中的一种或多种。
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