[发明专利]光学检查设备和光学检查系统

说明书

技术领域

本发明涉及用于检查光学扫描设备的光学系统的光学检查设备和光学检查系统。

背景技术

传统地，已经开发了在用于数字复印机或激光打印机等的光学扫描设备中检查是否存在侵入光学系统中的灰尘、光学元件上的沾污（在下文中，被简单称为灰尘）的各种方法。已经知道通过将从光学扫描设备发射的激光会聚到在像面上提供的可移动的缝隙板上来执行检查的一种方法。一个缝隙被布置为使得缝隙的开口的纵向方向与光学扫描方向垂直（参见日本专利申请公开No.2003-240675）。这个检查方法基于通过缝隙的束斑的光量的变化测量该束斑的状态，并且基于该状态执行对于光学扫描设备的光学系统上是否存在灰尘的检查。

这个检查方法将包括一个缝隙和一个检测传感器的光检测单元在扫描方向上移动到需要检查的像面上的位置，接收该位置处的激光，因此执行检查。然后将光检测单元顺序地移动到整个像面上的许多检查位置，接收每个检查位置处的激光以便执行检查，由此允许进行整个像面上的检查。

然而，在日本专利申请公开No.2003-240675中描述的检查光学扫描设备的方法中，要求光检测单元被顺序地移动到整个扫描范围上的许多检查位置。因此，该检查要求较长时间。

本发明的一个目的是，提供可以减少用于检查光学扫描设备的光学系统的检查时间的光学检查设备和光学检查系统。

发明内容

本发明是一种光学检查设备，通过测量从光学扫描设备发射的扫描光的光量来检查光学扫描设备的光学系统，所述光学检查设备包括：缝隙板，具有多个缝隙；扩散器，扩散已经通过缝隙的扫描光；光导，引导由扩散器扩散的扫描光；光学传感器，测量由光导引导的扫描光的光量；以及检查装置，通过将光学传感器获取的测量结果与预设参考值进行比较来检查光学系统的状态，其中在执行利用扫描光的在缝隙板上的扫描的方向上在包括从光学扫描设备发射的扫描光的扫描范围中的扫描有效部的范围中间隔地布置缝隙。

本发明的一种光学检查系统包括：光学扫描设备，包括光源、以及使从光源发射的光偏转和反射作为朝向缝隙板的扫描光的旋转多面反射镜；以及所述光学检查设备。

从以下参考附图的示例性实施例的描述中本发明更多的特征将变得清晰。

附图说明

图1A和图1B是示出根据本发明第一实施例的光学检查设备的示意性配置的图。图1A是平面图。图1B是示出扫描有效部的图。

图2是示出根据本发明第一实施例的光学检查设备的光检测器的透视图。

图3A和图3B示出根据本发明第一实施例的光学检查设备的光检测器。图3A是平面图。图3B是截面图。

图4A、图4B和图4C是示出在缝隙的节距P大于光斑直径D的情况下的在不同缝隙宽度W的情况下的光斑光量、透过光量以及差别的曲线图。图4A示出W/D=0.1的情况。图4B示出W/D=0.5的情况。图4C示出W/D=0.9的情况。

图5是示出在根据本发明第一实施例的光学检查设备的光检测器中在缝隙的节距P大于光斑直径D的情况下缝隙宽度比W/D和灵敏度之间的关系的曲线图。

图6A、图6B和图6C是示出在缝隙的节距P等于光斑直径D的情况下的在不同缝隙宽度W的情况下的光斑光量、透过光量以及差别的曲线图。图6A示出W/D=0.1的情况。图6B示出W/D=0.5的情况。图6C示出W/D=0.9的情况。

图7A和图7B是示出在缝隙宽度比W/D和灵敏度之间的关系的曲线图。图7A示出节距P等于光斑直径D的情况。图7B示出节距P等于光斑直径D的1/2的情况。

图8A、图8B、图8C和图8D示出根据第一实施例的光学检查设备的光检测器的变化示例。图8A示出光导弯曲的情况。图8B示出光导具有基本上梯形形状的情况。图8C示出光导是束式光纤（bundle fibers）的情况。图8D示出束式光纤插入缝隙板和扩散器（diffuser）之间的情况。

图9是示出本发明第二实施例的光学检查系统的示意性配置的图。

具体实施方式

现在将根据附图详细描述本发明的优选实施例。

[第一实施例]