[发明专利]感光性树脂组合物及其应用

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其包含：

碱可溶性树脂(A)；

含乙烯性不饱和基的化合物(B)；

光起始剂(C)；及

溶剂(D)；

其中，该含乙烯性不饱和基的化合物(B)包含二恶烷类不饱和化合物(B-1)及下述结构式(2)所示的异氰脲酸酯类不饱和化合物(B-2)，且该二恶烷类不饱和化合物(B-1)与该异氰脲酸酯类不饱和化合物(B-2)的使用量重量比(B-1)/(B-2)自0.05至15；其中，该二恶烷类不饱和化合物(B-1)包含如下结构式(1-1)所示的具1，3-二恶烷骨架的二恶烷类不饱和化合物及/或如下结构式(1-2)所示的具1，3-二恶戊烷骨架的二恶烷类不饱和化合物：

其中：

结构式(1-1)中，R¹至R⁸各自独立代表氢原子或烃基，且R¹至R⁸中至少一个在其端部包含乙烯性不饱和基作为取代基；结构式(1-2)中，R¹至R⁶各自独立代表氢原子或烃基，且R¹至R⁶中至少一个在其端部包含乙烯性不饱和基作为取代基；

其中：

X¹、X²及X³各自独立代表氢原子、(甲基)丙烯酰基或具有1至20个碳原子的烃基；且X¹、X²及X³中至少两个为(甲基)丙烯酰基；及

R⁹、R¹⁰及R¹¹各自独立代表氧亚烷基。

2.根据权利要求1的感光性树脂组合物，其中，该碱可溶性树脂(A)包含碱可溶性树脂(A-1)，该碱可溶性树脂(A-1)是由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、含环氧基的不饱和化合物(a2)及/或其他不饱和化合物(a3)所共聚合而得。

3.根据权利要求1的感光性树脂组合物，其中，该光起始剂(C)包含O-酰基肟类化合物(C-1)。

4.根据权利要求3的感光性树脂组合物，其中，该O-酰基肟类化合物(C-1)包含由下述结构式(3)所示的硫代O-酰基肟类化合物(C-1-1)：

其中：

X⁴及X⁵各自独立代表氢原子、具有1至12个碳原子数的环状、直链状或支链状的烷基或芳基，且该烷基或芳基为未经取代或经取代基取代，该取代基选自由卤素原子、具有1至6个碳原子数的烷氧基及芳基所组成的群；

X⁶及X⁷各自独立代表卤素原子、具有1至12个碳原子数的烷基、环戊基、环己基、苯基、苄基、苯甲酰基、具有2至12个碳原子数的烷酰基、具有2至12个碳原子数的烷氧羰基、或苯氧基羰基；及

p1及p2独立代表0至5的整数。

5.根据权利要求1的感光性树脂组合物，其中，基于该碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，该含乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为20至150重量份；该二恶烷类不饱和化合物(B-1)的使用量为10至140重量份；该异氰脲酸酯类不饱和化合物(B-2)的使用量为10至140重量份；该溶剂(D)的使用量为500至2000重量份。

6.根据权利要求1的感光性树脂组合物，其中，基于该含乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为100重量份，该光起始剂(C)的使用量为1至15重量份。

7.根据权利要求3的感光性树脂组合物，其中，基于该含乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为100重量份，该O-酰基肟类化合物(C-1)的使用量为1至12重量份。

8.根据权利要求4的感光性树脂组合物，其中，基于该含乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为100重量份，该硫代O-酰基肟类化合物(C-1-1)的使用量为1至10重量份。

9.一种于基板上形成薄膜的方法，其包含使用根据权利要求1至8中任一项的感光性树脂组合物施予该基板上。

10.一种基板上的薄膜，其由权利要求9的方法所制得。