[发明专利]一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置

权利要求书

1.一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，包括有底座（10）和设置在底座（10）上的用于夹持晶圆的前夹（20）、后夹（40），其特征在于：底座（10）上还设有控制前夹（20）和后夹（40）移动的驱动机构（50），该驱动机构（50）由前夹连接机构、后夹连接机构和动力源组成；

所述动力源设置在后夹（40）后方的底座（10）上，包括有传动带（506）、驱动单元（507）和驱动单元支座（508），所述驱动单元（507）通过驱动单元支座（508）放置在底座（10）上，所述传动带（506）与驱动单元（507）啮合、在驱动单元（507）的驱动下左右交替往复运动，并且传动带（506）的一端通过后弹簧张紧机构与前夹（20）连接，传动带（506）的另一端通过前弹簧张紧机构与后夹（40）连接；

所述后弹簧张紧机构包括前拉杆（509）、前弹簧杆（510）、前弹簧支座（511）和前弹簧组（512），所述传动带（506）的一端通过前拉杆（509）与前弹簧杆（510）的一端连接，前弹簧杆（510）的另一端又与所述前夹（20）连接，所述前弹簧杆（510）通过前弹簧支座（511）支撑放置在底座（10）上，所述前弹簧组（512）连接在前弹簧杆（510）与前弹簧支座（511）之间；

所述前弹簧张紧机构由后弹簧杆（501）、后弹簧组（502）、后弹簧支座（503）和后拉杆（504）组成，所述传动带（506）的另一端通过后拉杆（504）与后弹簧杆（501）的一端连接，后弹簧杆（501）的另一端又与所述后夹（40）连接，所述后弹簧杆（501）通过后弹簧支座（503）支撑放置在底座（10）上，所述后弹簧组（502）连接在后弹簧杆（501）与后弹簧支座（503）之间。

2.根据权利要求1所述的一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，其特征在于：所述前弹簧支座（511）设有两个，一个位于前弹簧杆（510）的前部，另一个位于前弹簧杆（510）的后部。

3.根据权利要求2所述的一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，其特征在于：所述后弹簧张紧机构还包括支撑放置前弹簧杆（510）用的中间支座（513），该中间支座（513）设置在两个前弹簧支座（511）之间的底座（10）上。

4.根据权利要求1所述的一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，其特征在于：所述后弹簧支座（503）设有两个。

5.根据权利要求1所述的一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，其特征在于：所述前拉杆（509）与驱动单元（507）之间的传动带（506）上设有前张力传感器（505b），后拉杆（504）与驱动单元（507）之间的传动带（506）上设有后张力传感器（505a）。

6.根据权利要求1所述的一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，其特征在于：所述前夹（20）与后夹（40）之间的底座（10）上设有用于距离检测的晶圆检测装置（60）。

7.根据权利要求6所述的一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，其特征在于：所述晶圆检测装置（60）由通过传感器安装座（604）连接在底座（10）上的距离传感器A（601）、距离传感器B（602）和距离传感器C（603）组成，并且距离传感器A（601）、距离传感器B（602）和距离传感器C（603）成三角形布置。

8.根据权利要求1所述的一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，其特征在于：所述后弹簧组（502）由两个弹簧座（5021）和夹在两个弹簧座之间的一个弹簧（5022）组成，所述弹簧座（5021）的内壁由两个平面（5021a）和两段半径相同的弧形面（5021b）构成，所述后弹簧杆（501）与弹簧座（5021）配合接触的位置上设有与弹簧座（5021）的内壁相对应的平面和弧形面；所述前弹簧组（512）的结构与后弹簧组（502）相同。

9.根据权利要求1所述的一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，其特征在于：所述前夹（20）由两个独立夹指（201）组成，并且每个独立夹指（201）与晶圆相接触的一面的形状与晶圆的边缘相适应，所述后夹（40）为凹字形，并且后夹（40）与晶圆相接触的一面的形状与晶圆的边缘相适应。

10.根据权利要求1所述的一种利用弹簧张紧和电机驱动的力反馈晶圆夹持装置，其特征在于：所述底座（10）上设有防护罩（30）。