[发明专利]一种用于太阳能电池的多晶硅的制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池用的多晶硅除磷工艺，步骤依序如下：

步骤1、将多晶硅料(10)装入侧壁水平倾斜角为35度的水冷铜坩埚(3)中；

步骤2、先用机械泵(5)和罗茨泵(6)将真空室(14)抽真空至气压为0.5Pa，再用扩散泵(7)抽到高真空10^-2Pa以下；

步骤3、给左电子枪(1)、右电子枪(2)高压功率预热6-8分钟，预热高压功率为30KW，关闭高压功率；设置左电子枪(1)、右电子枪(2)束流为120mA，束流预热8分钟，关闭左、右电子枪束流；

步骤4、同时打开左、右电子枪的高压和束流，稳定后用左、右电子枪轰击多晶硅料，增大左、右电子枪束流到650mA，持续轰击使多晶硅料全部熔化；

步骤5、调节右电子枪(2)的束流到零，机械转轴(13)带动水冷铜坩埚(3)向左平移，使水冷铜坩埚(3)中心位于左电子枪正下方，由左电子枪轰击9分钟；

步骤6、增大右电子枪(2)的束流到650mA，调整左电子枪的束流到零，机械转轴带动水冷铜坩埚向右平移，使水冷铜坩埚(3)中心位于右电子枪正下方，由右电子枪轰击9分钟；

步骤7、旋转机械转轴，机械转轴带动水冷铜坩埚(3)旋转35°，将液态硅倒入水冷铜容器(4)中后，反向旋转机械转轴(13)，将水冷铜坩埚(3)归水平位；

步骤8、再由进料口(9)投入多晶硅至水冷铜坩埚(3)中，连续作业，重复4-7步骤；

步骤9、关闭左、右电子枪；

步骤10、依次关闭扩散泵(7)、罗茨泵(6)、机械泵(5)待温度降到250℃时，打开放气阀，打开真空装置盖(12)从水冷铜容器(4)中取出硅锭。