[发明专利]沉积装置、有机发光显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种沉积装置，包括：

移动单元，基底被可拆卸地固定到所述移动单元；

传送单元，包括第一传送单元和第二传送单元，所述第一传送单元和所述第二传送单元的每一个被配置为移动所述移动单元，其中所述第一传送单元被配置为在第一方向传送所述移动单元，所述第二传送单元被配置为在所述第一方向的相反方向传送所述移动单元；

沉积单元，包括腔室和多个沉积组件，所述多个沉积组件以预定距离与所述基底分离，并被配置为在所述基底上沉积沉积材料；

排放数据获取单元，被配置为获取与从所述多个沉积组件每单位时间排放的所述沉积材料的量相关联的排放数据；和

发送单元，被配置为发送由所述排放数据获取单元获取的所述排放数据，

其中所述排放数据获取单元被设置在所述移动单元的至少一个边缘上，

所述排放数据获取单元包括传感器，所述传感器包括多个传感单元，所述多个传感单元的数量对应于所述多个沉积组件的数量。

2.如权利要求1所述的沉积装置，进一步包括被配置为接收由所述发送单元发送的所述排放数据的接收单元。

3.如权利要求2所述的沉积装置，其中所述接收单元被设置在所述腔室内。

4.如权利要求2所述的沉积装置，进一步包括被配置为将由所述接收单元接收的所述排放数据转换成关于由所述沉积单元形成的膜的厚度的数据的数据转换单元。

5.如权利要求1所述的沉积装置，其中所述沉积组件包括：

沉积源，被配置为排放所述沉积材料；

沉积源喷嘴单元，包括一个或多个沉积源喷嘴，所述沉积源喷嘴被设置在所述沉积源的面对所述第一传送单元的一侧；和

图案化缝隙片，被设置在所述沉积源喷嘴单元的对面，并包括被布置在所述第一方向上的多个图案化缝隙。

6.如权利要求1所述的沉积装置，其中与从所述多个沉积组件每单位时间排放的所述沉积材料的量相关联的所述排放数据被实时获取。

7.如权利要求1所述的沉积装置，进一步包括至少两个排放数据获取单元。

8.一种制造有机发光显示装置的方法，该方法包括：

当基底被固定到移动单元时传送所述移动单元进入腔室，其中所述传送由第一传送单元执行；

在由所述第一传送单元使所述基底相对于沉积组件移动时，通过在所述基底上沉积从设置在所述腔室内的多个沉积组件排放的沉积材料来形成层，其中所述多个沉积组件以预定距离和所述基底分离；和

返回与所述基底分离的所述移动单元，其中所述返回由被提供为穿过所述腔室的第二传送单元执行，

其中所述层的形成包括：

获取与从所述沉积组件每单位时间排放的所述沉积材料的量相关联的数据，其中所述获取由排放数据获取单元执行；和

发送由所述排放数据获取单元获取的所述数据，其中所述发送由发送单元执行，

其中所述排放数据获取单元被附着到所述移动单元的至少一个边缘，

所述排放数据获取单元包括传感器，所述传感器包括多个传感单元，所述多个传感单元的数量对应于所述多个沉积组件的数量。

9.如权利要求8所述的方法，进一步包括接收来自所述发送单元的所述数据，其中所述接收由接收单元执行。

10.如权利要求9所述的方法，进一步包括将由所述接收单元接收的所述数据转换成关于由所述多个沉积组件形成的所述层的厚度的数据。

11.如权利要求9所述的方法，其中所述沉积组件包括：

沉积源，排放所述沉积材料；

沉积源喷嘴单元，包括沉积源喷嘴，并被设置在所述沉积源的面对所述第一传送单元的一侧；和

图案化缝隙片，被设置在所述沉积源喷嘴单元的对面，并包括被布置在第一方向上的多个图案化缝隙。