[发明专利]真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有排气部的真空泵(pump)，该排气部包含动叶部与静叶部。

背景技术

涡轮分子泵(turbo-molecular pump)等真空泵是在包含外壳(casing)部件及基底(base)部件的泵容器内，使具有多段地排列的动叶部的转子(rotor)高速旋转，通过动叶部与排列在动叶部的各段之间的静叶部将气体分子从进气口侧输送到排气埠(exhaust port)侧。

各段动叶部具有转子叶片(rotor blade)，各段静叶部具有定子叶片(stator blade)。各静叶部通过配设在静叶部的外周侧的间隔件(spacer)而呈规定的间隔被支撑。静叶部是组合一对半截的环(ring)状部件而形成为一个轮状。也就是说，使半截的环状部件在直径方向上将两个侧端面相互对接而形成一个轮状。转子叶片及定子叶片是相对于转子的旋转面倾斜地形成，且转子叶片与定子叶片是以规定尺寸的间隙而设置(set)。

作为制作静叶部的方法，有通过机械加工而形成的方法及通过塑性加工而形成的方法，通过塑性加工来制作静叶部的方法在成本(cost)方面较为有利。

在通过塑性加工制作静叶部的方法中，以如下方式进行制作：对金属板进行压制(press)加工，把作为内周侧缘部的内周边缘(rim)与作为外周侧缘部的外周边缘连结以规定的倾斜角度沿着圆周方向排列的多个定子叶片来进行制作(例如，参照专利文献1)。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2008-144694号公报

因加工时的不均会导致由间隔件支撑的静叶部中，内周边缘侧相对于外周边缘侧沿转子的轴向(axial)移位。因该移位而导致产生静叶部与动叶部接触的可能性。

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的真空泵存在的缺陷，而提供一种新的真空泵，所要解决的技术问题是使其防止静叶部与动叶部接触，非常适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明的优选实施方式提出的真空泵包括：多个动叶部，多段地配置，且分别具有多个转子叶片；及多个静叶部，配置在动叶部之间，外周边缘经由间隔件受到支撑，且分别具有多个定子叶片；在多个静叶部中的至少一个静叶部中，设置在该静叶部的多个定子叶片的内周侧的叶片高度设定得小于外周侧的叶片高度，且该静叶部以其内周侧朝向进气口侧浮升的方式由间隔件支撑。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

优选为，前述的真空泵，其中所述的静叶部包含内周边缘与外周边缘，定子叶片设置在内周边缘与外周边缘之间，将外周边缘的外周缘从外周边缘向定子叶片的上表面方向以规定的倾斜角度弯折，由此，内周边缘向进气口侧浮升，就降低生产成本的观点来说，所述情况较为优选。

优选为，前述的真空泵，其中在将所述的定子叶片的外周侧的叶片高度设为ho，将定子叶片的内周侧的叶片高度设为hi的情况下，内周边缘的前端相对于外周缘的浮升高度s满足(ho-hi)>s的关系。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本发明真空泵至少具有下述优点及有益效果：根据本发明，静叶部以其内周侧朝向进气口侧浮升的状态受到支撑。设置在静叶部的定子叶片的外周侧的叶片高度大于内周侧的叶片高度，在定子叶片的内周侧，与作为进气口侧的上段侧的动叶部的间隙大于与下段侧的动叶部的间隙。定子叶片的内周侧以向间隙大的上段侧的动叶部侧移位的状态受到支撑，因此可确实地防止静叶部与动叶部接触。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是作为本发明的真空泵的实施方式的涡轮分子泵的剖视图。

图2是图1中的区域II的放大图。

图3是静叶部的俯视图。

图4是图3中的IV-IV线剖视图。

图5(a)是图3中的区域V的放大立体图，图5(b)是从内周侧方向所视的定子叶片的图，图5(c)是从外周侧方向所视的定子叶片的图。

图6是用来说明静叶部的制造方法的半圆状平板(plate)的俯视图。

图7是用来说明继图6之后的步骤的半圆状平板的俯视图。

图8是图7中的区域VIII的放大图。