[发明专利]电子级氢氟酸取样室

说明书

技术领域

本发明涉及电子级氢氟酸生产领域，具体涉及一种电子级氢氟酸取样室。

背景技术

电子级氢氟酸主要用于电子、光伏行业中生产集成电路，要求非金属元素的含量Cl≤5000ppb、NO₃^-≤3000ppb、PO₄^3－≤1000ppb、SO₄^2－≤5000ppb，金属元素的含量要求低于10ppb。对于电子级的氢氟酸生产主要是将工业氢氟酸进一步进行氧化和精馏除杂，然后将精馏除杂后的产品输送进行储存。现有氢氟酸生产大多采用连续化生产系统进行，为保证产品质量，需不定期对输送储存的氢氟酸进行取样检测，但是由于制得的产品是电子级氢氟酸，而输送管道大多半露天设置，因此取样时需避免空气中的杂质对氢氟酸的影响，避免取样被污染，保证检测的可靠性。

发明内容

本发明的目的是提供一种电子级氢氟酸取样室，其可有效避免取样时空气中的杂质对氢氟酸的污染，提高检测的可靠性。

为实现上述目的，本发明采用了以下技术方案：

一种电子级氢氟酸取样室，其特征在于：包括一可自由打开和关闭的盒室，盒室内设置有由隔板围成的用于电子级氢氟酸取样的取样间，取样间的敞口处设置有遮挡外部空气进入取样间的软挡风帘，取样间上设置有进气管口，进气管口通过气管与洁净气源相连接，盒室内设置有取样输送管以及取样输送管上设置的放样阀，取样输送管的出口端设置在取样间内部，取样输送管的入口端与电子级氢氟酸生产系统中的氢氟酸输送管道相连通连接。

上述方案中，在盒室内设置一个小取样间，在取样时，通过气管向小取样间内通入洁净气体，将取样间内的空气通过挡风帘与取样间侧壁间的缝隙排净，然后打开放样阀进行取样，取样时保持取样间通洁净空气，防止整个取样过程中氢氟酸受空气污染，保证氢氟酸取样检测的准确性。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

本发明的目的在于提供一种电子级氢氟酸取样室，由于电子级氢氟酸生产系统是半露天的，在取样时，即使一阵风吹过也会导致产品受到严重污染，检测的结果不合格，无法准确得知产品的质量。为此本发明采用如图1所示的技术方案进行实施，一种电子级氢氟酸取样室，包括一可自由打开和关闭的盒室10，盒室10内设置有由隔板围成的用于电子级氢氟酸取样的取样间11，取样间11的敞口处设置有遮挡外部空气进入取样间11的软挡风帘12，取样间11上设置有进气管口，进气管口通过气管13与洁净气源相连接，盒室10内设置有取样输送管14以及取样输送管14上设置的放样阀15，取样输送管14的出口端设置在取样间11内部，取样输送管14的入口端与电子级氢氟酸生产系统中的氢氟酸输送管道相连通连接。通过在盒室10内设置一较小的取样间11，取样间11上开设与洁净气源相连接的进气管口，这样在取样时，通过通入洁净气体，将取样间的内的空气通过挡风帘12与取样间11侧壁间的缝隙排净，然后打开放样阀15进行取样，取样时保持取样间11通洁净空气，使得取样间11内保持正压状态，防止微风吹过以及外部空气中杂质进入取样间11对取样的氢氟酸进行污染，保证氢氟酸检测的准确性。

具体的方案为，盒室10为方形，盒室10的前侧壁设置门口和用于打开、关闭门口的门15，取样间11上的敞口位置与盒室10的门口位置相对应设置，挡风帘12为一塑料软板构成，挡风帘12的上侧边部与取样间11的外壁面相固接，挡风帘12的各边部分别延伸设置至敞口外围与取样间11的外侧壁相贴。放样阀15设置在取样间11的外部，便于放样阀15的操作，门15为透明材料构成，便于观察盒室10内的情况。由于在取样时，需先要将上一次取样时取样输送管14内残存的氢氟酸排出，因此在取样间11的底部设置有排污管18，排污管18上设置阀门19，残存的氢氟酸通过排污管18排出。

总之，本发明可有效避免取样时空气中的杂质对氢氟酸的污染，提高检测的可靠性。