[发明专利]有机物沉积装置及有机物沉积方法

说明书

本发明的一实施例公开了有机物沉积装置，该有机物沉积装置包括：用于对掩模与基板进行对准(Align)并把持的基板把持部；用于将有机物雾化(atomization)以将有机物喷射到所述基板上的有机物源部；以及设置在所述源部和所述基板之间以用于对所述有机物进行扩散的分撒部。

技术领域

本发明涉及装置及方法，尤其是涉及有机物沉积装置及有机物沉积方法。

背景技术

以移动性为基础的电子设备被广泛使用。作为便携式电子设备，除了诸如移动电话的小型电子设备以外，最近还有平板电脑被广泛使用。

这种便携式电子设备包括显示面板，以支持多种功能，并且向使用者提供诸如图像或视频的视觉信息。最近，随着用于驱动显示面板的其他部件的小型化，显示面板在电子设备中所占的比重处于逐渐增加的趋势，并且还在研究着可从平坦的状态下弯曲成预定角度的结构。

发明内容

本发明的实施例提供有机物沉积装置和有机物沉积方法。

在本发明的一实施例中公开一种有机物沉积装置，包括：用于对掩模和基板进行对准(Align)并进行把持的基板把持部；用于将有机物雾化(atomization)以将有机物喷射到所述基板上的有机物源部；以及设置在所述有机物源部和所述基板之间以用于对所述有机物进行扩散的分撒部。

在本实施例中，还可以包括：被设置成与所述有机物源部和所述分撒部连接，以用于将所述有机物从所述有机物源部引导至所述分撒部的引导部。

在本实施例中，所述引导部可以用于将所述有机物从所述有机物源部朝着所述分撒部移动的路径与外部进行切断。

在本实施例中，还可以包括：用于放射紫外线以对喷射到所述基板上的有机物进行固化的紫外线供给部。

在本实施例中，所述紫外线供给部可以被设置成能够进行直线运动。

在本实施例中，所述有机物源部、所述紫外线供给部、所述分撒部能够以相同的速度进行直线运动。

在本实施例中，还可以包括：用于对从所述分撒部扩散到所述基板的所述有机物进行选择性遮蔽的遮蔽部。

在本实施例中，所述遮蔽部可以包括：设置在所述分撒部和所述基板之间、或者设置在所述分撒部上以用于对经过所述分撒部的所述有机物进行选择性遮蔽的遮蔽板；以及与所述遮蔽板连接以用于使所述遮蔽板进行转动运动的转动驱动部。

在本实施例中，所述遮蔽部可以包括：设置在所述分撒部和所述基板之间或者设置在所述分撒部上，并且通过改变所述分撒部的长度以用于对经过所述分撒部的所述有机物进行选择性遮蔽的遮蔽膜；以及用于改变所述遮蔽膜的长度的长度驱动部。

在本实施例中，所述分撒部可以被形成为板状形态，并且可以形成有使所述有机物经过的通过孔。

在本实施例中，还可以包括：腔室，在其内设置有所述基板把持部的一部分、所述有机物源部和所述分撒部。

在本实施例中，还可以包括：与所述腔室连接以用于控制所述腔室内部的压力的压力控制单元。

在本实施例中，还可以包括：设置于所述有机物源部以用于对所述有机物源部进行冷却的源冷却部。

在本实施例中，所述基板把持部可以包括：用于固定所述基板并且对所述掩模和所述基板进行对准的对准部；以及由于通过磁力使所述掩模紧贴到所述基板上的磁体部。

在本实施例中，所述基板把持部还可以包括：设置在所述基板和磁体部之间以由于对所述基板进行冷却的基板冷却部。

在本实施例中，所述基板把持部可以由于使所述掩模和所述基板进行直线运动。