[发明专利]超声波接合装置

权利要求书

1.一种超声波接合装置，具备：

超声波振子，接受电压而产生超声波振动；

前端工具，将负荷和超声波振动向接合对象物施加；

超声变幅杆，将负荷、和上述超声波振子振荡出的超声波振动向上述前端工具传递；以及

超声波振荡器，是具备振荡电路并将从上述振荡电路振荡出的电压向上述超声波振子供给的超声波振荡器，具备控制装置，该控制装置根据上述振荡电路供给的电压和电流来检测电压反射率，并且以使上述电压反射率最小的方式对上述振荡电路振荡的电压的频率进行控制。

2.如权利要求1记载的超声波接合装置，

上述控制装置，

使从上述振荡电路振荡的电压的频率相对于所设定的初始值增加或减少，

在检测出的电压反射率比上次检测值小时，在使上述电压的振荡频率增加的情况下设定第一搜索目的值并使振荡频率增加到上述第一搜索目的值，并且检测增加中的上述电压反射率，在使上述电压的振荡频率减少的情况下设定第二搜索目的值并使振荡频率减少到上述第二搜索目的值，并且检测减少中的上述电压反射率，

在到上述第一搜索目的值为止的振荡频率的增加中或到上述第二搜索目的值为止的振荡频率的减少中检测出的电压反射率相对于在该电压反射率之前刚刚检测的电压反射率变大时，使检测到上述刚刚之前的电压反射率时的上述第一搜索目的值或第二搜索目的值的更新中止，

从上述振荡电路振荡的频率成为上述第一搜索目的值或上述第二搜索目的值时，在将频率增加的情况下以将频率减少的方式进行上述振荡电路的控制，在将频率减少的情况下以将频率增加的方式进行上述振荡电路的控制。

3.如权利要求2记载的超声波接合装置，

上述第一搜索目的值是对上述振荡频率加上超调次数与频率节距宽度之积而得到的值，并且，上述第二搜索目的值是从上述振荡频率中减去上述超调次数与上述频率节距宽度之积而得到的值，

上述超调次数与上述频率节距宽度的上述积，在上述电压反射率成为阈值以下时，与上述电压反射率比上述阈值大时的上述积相比较而较小。