[发明专利]低频消磁减震减噪防护罩

说明书

技术领域

本发明涉及一种低频消磁减震减噪防护罩，用于需要对外界磁场、震动和噪声进行防护、消除或者减弱的电子显微镜（EMS）、光刻机、核磁共振(MRI)等精密设备。

背景技术

电子显微镜是高速电子在电磁透镜作用下成像的，通常在数万倍甚至一百万倍下进行观察。电子显微镜由于其直观、便捷等特点，在材料、生命科学等领域得到了广泛的应用。

由于在电子显微镜镜筒中飞行的带电粒子束极易受到外界干扰，从而使得到的图像扭曲变形，各种类型的电子显微镜对周围环境如磁场、振动以及噪声都有一定的要求。磁场、震动以及噪声虽然不会使电子显微镜本身受到损坏，但是都会干扰带电粒子束的正常运动轨迹，影响电子显微镜的实验结果，使其不能达到应有的精度。

不同厂家的电子显微镜对周围环境的要求是不同的。即使是同一厂家但型号不同的电子显微镜对周围环境的要求也是不同的，没有统一标准。电子显微镜厂商都会在安装电子显微镜之前，对将要安装电子显微镜的场地进行专门检测。如果周围环境不能符合要求，则应该采取适当措施解决或改善。

现有技术中，一般都需要建立电子显微镜专用的密封房间，但是这种现有的密封房间一般都是不可移动的建筑物，且占地面积较大，建筑成本较高；且房间的开门处容易存在缝隙，容易导致磁力线外泄，从而影响电子显微镜的检测精度。

发明内容

本发明是为避免上述已有技术中存在的不足之处，提供一种低频消磁减震减噪防护,用于电子显微镜等精密设备对外界低频磁场、震动和噪声干扰的防护，以确保电子显微镜的工作环境的密封性、提高被防护设备的检测精度和使用性能。

本发明为解决技术问题采用以下技术方案。

低频消磁减震减噪防护罩，其结构特点是，包括呈六面体形的方形柜体，所述方形柜体的外表面上设置有一层由导磁材料制成磁屏蔽层；所述方形柜体的侧壁上设置有一个或多个向外打开的柜门，所述柜门上设置有一个或多个门把手；所述柜门的门边处设置有多个波导口；

所述方形柜体的内壁面为多孔铝板；所述多孔铝板和所述磁屏蔽层之间设置有高分子吸音材料制成的吸音层；所述方形柜体的顶面设置有多个通风口，所述多个通风口的每一个通风口内均嵌设有一个排风扇。

本发明低频消磁减震减噪防护罩的结构特点也在于：

所述柜门的下部设置有一个进风口，所述进风口上设置有过滤网。

所述方形柜体的底板上设置有用于通过螺栓将所述方形柜体固定于地面上的螺栓孔。

所述方形柜体的底板上设置有波导口，所述波导口内设置有波导口软塞。

在所述方形柜体内配置有一套主动式低频消磁器。

与已有技术相比，本发明有益效果体现在：

本发明的低频消磁减震减噪防护罩具有以下几个方面的技术特点。

1）保证电子显微镜不受外界电磁和噪声环境干扰，减少外界震动环境干扰；

2）可以保持原房间的基本设置，不因二次装修造成浪费，完全避免了对建筑整体结构的损伤；

3）体积小型化（仅为现行磁屏蔽体积的二十到三十分之一)，改现场施工为工厂加工和现场快速装配。体积小型化的另一优势为大大减少对宝贵的室内面积占用（一体化方案本身对室内面积的占用仅为现行磁屏蔽方案的十到十五分之一）；

4）产品模块化，可以根据不同需要灵活组合搭配；

5）性价比提高，绝对价格下降，降低用户购置成本。据测算，单一磁屏蔽模式的价格约为现行磁屏蔽价格的三分之一；组合了减震和消音的功能后价格更是降低到现行环境改善方案的五分之一以下；

6）外形美观大方。产品为立方体箱式结构，周围四面均有活动门以方便操作和维修。外表为静电喷涂烤漆。

本发明的低频消磁减震减噪防护罩，用于电子显微镜、光刻机、核磁共振等需要消磁、减震、减噪的精密仪器类，具有可有效保证电子显微镜不受外界低频磁场、震动噪声的干扰、提高设备的检测精度和性能、便于小型化、移动方便、成本低且外形美观大方等优点。

附图说明

图1为本发明的低频消磁减震减噪防护罩的主视图。

图2为本发明的低频消磁减震减噪防护罩俯视图。

图3为本发明的低频消磁减震减噪防护罩的内部示意图。

图4为本发明的低频消磁减震减噪防护罩的底板和侧壁的断面图。