[发明专利]测试装置和测试方法

权利要求书

1.一种测试装置，用于一次可编程器件的晶圆测试，其特征在于，包括：

测试机，所述测试机用于对待测晶圆的待测管芯进行测试；

探针卡，所述探针卡包括探针、以及与探针相邻排列的擦除区，所述探针用于将待测晶圆的待测管芯与测试机电连接，所述擦除区用于对待测晶圆的待测管芯进行测试前擦除或测试后擦除，所述擦除区包括位于探针一侧的第一擦除区、以及位于探针另一侧的第二擦除区。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述第一擦除区、探针、以及第二擦除区处于同一直线上。

3.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述第一擦除区与探针间的距离为第一距离，所述第二擦除区与探针间的距离为第二距离，所述待测晶圆的相邻待测管芯间的距离为第三距离，且第一距离、第二距离和第三距离相等。

4.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述第一擦除区和第二擦除区设置有紫外光源，所述紫外光源包括至少一个紫外灯管。

5.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，还包括：用于设置第一擦除区和第二擦除区工作状态的控制平台。

6.一种采用如权利要求1至5所述任一项测试装置进行晶圆测试的测试方法，其特征在于，包括：

提供待测晶圆，所述待测晶圆具有待测管芯；

在对所述待测管芯进行测试之前，使所述待测管芯位于第一擦除区下方，对所述待测管芯进行测试前紫外擦除；

使所述待测管芯位于探针下方，通过探针将待测管芯与测试机电连接，对所述待测管芯进行测试；

在对所述待测管芯进行测试之后，使所述待测管芯位于第二擦除区下方，对所述待测管芯进行测试后紫外擦除。

7.根据权利要求6所述的测试方法，其特征在于，所述待测管芯的数量大于或等于1。

8.根据权利要求7所述的测试方法，其特征在于，所述待测管芯的数量大于或等于3时，所述待测管芯包括依次排列的第一待测管芯、第二待测管芯、第三待测管芯，测试步骤包括：

使第一待测管芯位于探针下方，同时使第二待测管芯位于第一擦除区下方；

在对第一待测管芯进行测试之后，使第二待测管芯位于探针下方，同时使第一待测管芯位于第二擦除区下方，使第三管芯位于第一擦除区下方；

对第二待测管芯进行测试，对第一待测管芯和第三待测管芯进行紫外擦除。

9.根据权利要求8所述的测试方法，其特征在于，所述第一擦除区与探针间的距离为第一距离，所述第二擦除区与探针间的距离为第二距离，所述待测晶圆的相邻待测管芯间的距离为第三距离，且第一距离、第二距离和第三距离相等。

10.根据权利要求8所述的测试方法，其特征在于，在对第一待测管芯进行测试之前或之后，第一擦除区对第二待测管芯进行测试前紫外擦除；在对第二待测管芯进行测试之前或之后，第二擦除区对第一待测管芯进行测试后紫外擦除，第一擦除区对第三待测管芯进行测试前紫外擦除。