[发明专利]驱动装置、电子部件输送装置以及电子部件检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及驱动装置、电子部件输送装置、电子部件检查装置、机械手以及机器人。

背景技术

已知有利用单独的驱动电路驱动多个马达使可动部移动的驱动装置。这样的驱动装置例如作为定位装置使用，通过利用驱动电路依次驱动使可动部向不同的方向移动的多个马达，能够将可动部定位于规定的位置。在以往的定位装置中，一般使用电磁马达、脉冲马达，但需要在按照每个马达设置用于保持处在非驱动状态下的转子不旋转的制动机构。

对此，提出了使用压电马达（压电致动器）的驱动装置（例如参照专利文献1）。由于压电马达利用摩擦力向旋转部传递由压电元件产生的振动，在非驱动状态下，旋转部的位置也通过摩擦力而被保持，所以不需要制动机构。因此，在使用了专利文献1所记载的压电马达的驱动装置中，与使用了电磁马达、脉冲马达的驱动装置相比，能够实现驱动装置的小型化、轻型化。

专利文献1：日本特开2001－136760号公报

然而，在专利文献1所记载的驱动装置中，利用单独的驱动电路驱动各压电马达，所以需要与压电马达相同数量的驱动电路。因此，存在不易使驱动装置进一步小型化、轻型化、低成本化这样的技术问题。

发明内容

本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或者应用例来实现。

本发明的驱动装置的特征在于，具备：多个移动部；使上述移动部移动的马达；驱动上述马达的驱动电路；以及使上述马达和上述驱动电路断续的断续部，上述驱动电路的数量比上述马达的数量少。

由此，通过使马达与驱动电路断续来有选择地驱动马达，能够利用共用的驱动电路来分时驱动多个马达，使移动部移动。据此，能够使驱动电路的数量相对于马达的数量减少。其结果，能够实现驱动装置的小型化、轻型化、低成本化。

在本发明的驱动装置中，优选上述马达为压电马达。

由此，能够进行移动部的微小的移动，能够提高移动部的定位精度。另外，压电马达在停止时有恒定的制动效果，所以即使在施加了外力的情况下移动部也不易位置偏移。

在本发明的驱动装置中，优选上述驱动装置具备对上述移动部的移动进行制动的制动部。

由此，即使在施加了较大的外力的情况下移动部也不易位置偏移。

在本发明的驱动装置中，优选具备多个上述驱动电路。

由此，能够减少一个驱动电路担负的马达的数量，所以能够延长驱动电路能够控制一个马达的时间，由此，能够进行更多种类的控制。

在本发明的驱动装置中，优选上述移动部的各自的移动方向不同。

由此，通过切换而独立地驱动各马达，使各移动部向不同的方向移动，能够使对象物容易地、并且精度良好地向所期望的位置移动。

在本发明的驱动装置中，优选地，多个上述移动部是第1移动部、能够在与上述第1移动部的移动方向正交的方向上移动的第2移动部、以及在分别与上述第1移动部的移动方向以及上述第2移动部的移动方向正交的方向具有旋转轴的第3移动部。

由此，通过切换而独立地驱动各马达而，使第1移动部、第2移动部、第3移动部向不同的方向移动或者转动，能够使对象物容易地、并且精度良好地向所期望的位置移动。

在本发明的驱动装置中，优选具有基部，上述第1移动部被设置成能够相对于上述基部移动，上述第3移动部配置在上述第1移动部与上述第2移动部之间。

由此，能够减小第3移动部的移动方向的惯性力，即使在与第3移动部的移动方向相同的方向施加了加减速的情况下，该第3移动部也不易位置偏移。

在本发明的驱动装置中，优选上述断续部设置在各个上述马达与上述驱动电路之间。

由此，能够逐个单独地驱动多个马达，所以能够逐个单独地控制各移动部的移动，由此，能够使对象物容易地、并且精度良好地向所期望的位置移动。

在本发明的驱动装置中，优选上述断续部具有光MOS继电器。

由此，与由机械式继电器（电磁继电器）构成的情况相比，连接以及切断时的动作时间较短，消耗电力较小，寿命长。由此，能够提供更高性能且可靠性高的驱动装置。

在本发明的驱动装置中，优选上述断续部具有旋转开关。

由此，与由光MOS继电器构成断续部的情况相比，例如，即使在装置的维护、调整时，无法输出使该光MOS继电器动作的选择信号的情况下，也能够手动地使旋转开关旋转，而容易地使马达与驱动电路断续。