[发明专利]沉积设备、有机发光显示设备及其制造方法

权利要求书

1.一种沉积设备，包括：

衬底结合单元，被配置成在移动单元的用于固定衬底的表面面朝上时将所述衬底设置在所述移动单元上；

第一阻挡构件结合单元，被配置成抬起第一阻挡构件并且将所述第一阻挡构件与包括被固定的所述衬底的所述移动单元结合，所述移动单元处于固定有所述衬底的表面面朝下的状态，其中，所述衬底包括非层形成区域，所述第一阻挡构件暴露所述衬底的除了所述非层形成区域之外的整个表面；

第一沉积单元，包括一个或多个沉积组件，所述一个或多个沉积组件被配置成在所述第一阻挡构件与包括被固定的所述衬底的所述移动单元结合的状态下将材料沉积在所述衬底上；

第一阻挡构件分离单元，被配置成从包括被固定的所述衬底的所述移动单元朝下分离所述第一阻挡构件，所述移动单元处于固定有所述衬底的所述表面面朝下的状态；

第一输送单元，被配置成在第一方向上输送包括被固定的所述衬底的所述移动单元，使得包括被固定的所述衬底的所述移动单元从所述衬底结合单元按顺序通过所述第一阻挡构件结合单元和所述第一沉积单元被输送至所述第一阻挡构件分离单元；以及

第一阻挡构件输送单元，用于将通过所述第一阻挡构件分离单元分离的所述第一阻挡构件返还至所述第一阻挡构件结合单元，

其中所述一个或多个沉积组件与所述衬底相隔预定距离，使得当所述移动单元在所述第一方向上被输送时，所述材料在所述第一沉积单元中被沉积在所述衬底上；以及

其中所述第一阻挡构件输送单元被设置在所述第一输送单元的下方。

2.如权利要求1所述的沉积设备，其中

所述衬底结合单元被配置成在所述衬底被设置在所述移动单元上之后翻转所述移动单元，使得固定有所述衬底的所述表面面朝下。

3.如权利要求1所述的沉积设备，还包括：

衬底分离单元，被配置成从输送自所述第一阻挡构件分离单元的包括被固定的所述衬底的所述移动单元分离所述衬底。

4.如权利要求3所述的沉积设备，其中

被输送至所述衬底分离单元的所述移动单元在固定有所述衬底的所述表面面朝下的状态下被输送，以及

所述衬底分离单元被配置成在从所述移动单元分离所述衬底之前翻转所述移动单元，使得固定有所述衬底的所述表面面朝上。

5.如权利要求3所述的沉积设备，还包括：

第二输送单元，用于在通过所述衬底分离单元从所述移动单元分离所述衬底之后将所述移动单元返还至所述衬底结合单元。

6.如权利要求5所述的沉积设备，其中

所述第二输送单元被设置在所述第一输送单元的上方。