[发明专利]以双转子压缩机为核心的氦气压缩净化机组

说明书

技术领域

本发明涉及一种低温泵配套辅助装置，具体涉及一种以双转子压缩机为核心的氦气压缩净化机组。

背景技术

近年，科技发展很快，核磁共振成像装置已在各级医疗领域和一些科研领域迅速普及，并不断升级，磁场强度越做越高，基本上都进入超导时代。核磁共振系统其核心磁体部分液氦消耗量很大，造成设备运行维护成本特别高。随着液氦低温区的小型制冷机逐渐商品化，利用小型制冷机将蒸发的氦蒸气重新液化返回容器，液氦零消耗已基本实现大大降低设备运行的成本。

目前，电子制造领域低温泵日益普及，医用核磁共振系统及军事科研等，对小型制冷机需求量不断增长。低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。作为小型制冷机一个重要组成部份氦气压缩净化机组，也逐渐商品化。液氦温区的小型制冷机，其氦气压缩净化机组是其重要的组成部分。氦气压缩净化机组核心部分是压缩机，性能影响氦气压缩净化机组各项指标。新一代双转子压缩机具有体积小、重量轻、高效、低振动、可靠，长寿命等特点，广泛用于各个领域。而涡轮压缩机使用和改造成本过高，无法适用市场需求。

发明内容

本发明克服了现有技术的不足，提供一种体积小，占地面积少，高效、低振动，冷却效果和净化效果好的以双转子压缩机为核心的氦气压缩净化机组。

为解决上述的技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种以双转子压缩机为核心的氦气压缩净化机组，包括低压平衡器、双转子压缩机、油气冷却器、油气分离器与吸附器；所述的低压平衡器通过第一管道与所述双转子压缩机进气端连通；所述双转子压缩机通过第二管道与油气冷却器进气端连通；所述油气冷却器出气端通过第三管道与所述油气分离器进气端连接；所述油气分离器出气端通过第四管道与所述吸附器连接；所述油气分离器出油端通过第五管道与所述第一管道连通；所述双转子压缩机出油端通过第六管道与所述油气冷却器进油端连通；所述油气冷却器出油端通过第七管道与所述第一管道连通；所述第四管道通过第八管道与所述第一管道连通；所述第八管道上设置有溢流阀；新一代双转子压缩机具有体积小、重量轻、高效、低振动、可靠，长寿命。

更进一步的技术方案是双转子压缩机外壁上设置有外冷却系统；所述外冷却系统包括盘绕在所述双转子压缩机外壁上的冷却水管，所述冷却水管两端分别为冷却水进水口和冷却水出水口；所述冷却水管之间的间隔处设置有热传导介质；在双转子压缩机内进行第一步冷却，实现了高效净化的功能。

更进一步的技术方案是低压平衡器上设置有低压进气管，所述低压进气管上设置有低压进气自密封接头。

更进一步的技术方案是低压平衡器上的第一管道上设置有低压压力表。

更进一步的技术方案是第七管道上设置有油过滤器。

更进一步的技术方案是油气冷却器上设置有油气冷却器出水接头和油气冷却器进水接头；所述油气冷却器进水接头的管道上设置有水压保护继电器。

更进一步的技术方案是油气分离器上设置有安全阀。

更进一步的技术方案是吸附器上的第四管道上设置有高压进气自密封接头；所述高压进气自密封接头连接有气体高压保护继电器。

更进一步的技术方案是吸附器上设置有高压出气自密封接头。

更进一步的技术方案是第四管道上设置有高压压力表。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：氦气经过双转子压缩机和油气冷却器两次冷却，保证了机组净化的高效率；氦气经过双转子压缩机、油气分离器与吸附器三次过滤，保证了机组过滤的氦气的纯净度。核心的双转子压缩机具有体积小、重量轻、高效、低振动、可靠寿命长、改造成本低等优点。双转子的外冷却系统确保了压缩机的正常工作；机组上的电控部件，使设备达到了可长期无人值守、运行中自控压力、温度冷却等。

附图说明

图1为本发明一个实施例结构示意图。

图2为本发明一个实施例双转子压缩机外冷却系统结构示意图。

图3为本发明图2中局部放大图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步阐述。