[发明专利]基于微球体的亚波长超分辨率数字全息成像系统

说明书

技术领域

基于微球体的亚波长超分辨率数字全息成像系统属于高分辨率成像和数字全息技术领域，涉及一种超分辨率数字全息成像装置，特别是基于微球体收集近场倏逝波的亚波长超分辨率数字全息成像装置。

背景技术

随着纳米科学和微电子技术的快速发展，微加工工艺和微纳元件得到了广泛应用，为了对微细结构进行定量的检测和评估，迫切需求与之配套的高精度微纳结构检测技术。与传统的光学成像方法相比较，数字全息显微成像具有全视场、非接触、无损伤和定量检测的独特优势，是一种具有发展潜力的微细结构检测方法。由于当前数字全息光路设计，CCD、CMOS等图像成像器件的感光尺寸和像元尺寸的限制，这大大降低了数字全息显微成像系统的分辨率，因此如何提高数字全息显微成像系统的分辨率已经成为数字全息成像领域中的关键问题之一。

针对此问题，目前已经提出了多种超分辨率数字全息成像方法，1）空间复用技术：采用CCD扫描的方法获取衍射光不同位置的信息，然后将不同位置的全息图进行合成再现，或者将CCD移动亚像素级的距离记录多幅全息图，通过数据融合分析降低了CCD像素的有效尺寸，达到提高分辨率的目的。2）多光束照明技术：利用物体频移与倾斜照明光的关系，通过改变照明光波的入射方向依次记录一系列的数字全息图，将他们按一定方式合成进行再现。3）光栅技术：将原本落在CCD之外的高频谱利用光栅收集起来，然后将再现的不同衍射级合成再现提高分辨率。虽然这些超分辨率方法均有效地提高了系统的数值孔径，但这些方法的出发点都是如何更多的收集远场的高频信息，而没有有效的利用蕴含亚波长信息的近场倏逝波，因此目前的成像系统不能实现亚波长的成像分辨率。2011年Wang等人在Nature Communicaitions期刊上发表了题为“Optical virtual imaging at50nm lateral resolution with a white-lightnanscope”的论文，利用透明微球体实现了突破白光衍射极限的成像，其横向分辨率达到50nm。Hao等人2011年在AppliedPhysicsLetters期刊上发表了题为“Microsphere basedmicroscope with optical super-resolution capacity”的论文，利用角谱理论和散射理论解释微球体成像问题。然而Wang和Hao等人均将微球体超级透镜与普通的光学显微镜相结合获取了亚波长的横向分辨率，但不能检测物体的轴向信息，即这些方法不能反映物体的三维形貌信息。

发明内容

本发明的目的是提供一种基于微球体的亚波长超分辨率数字全息成像装置，可实现待测样品的三维相衬成像，且其横向分辨率可以突破衍射极限，具有成像分辨率高，实现简单，价格低廉的优势。

为了实现上述目的，本发明设计了一种基于微球体的亚波长超分辨率数字全息成像系统，由全息图自动采集控制模块、数字全息图记录模块、数字全息图预处理模块、全息图数值分析和处理模块、相衬图像显示模块组成，其中，

所述全息图自动采集控制模块17利用Labview软件输出控制信号b控制曝光时间、图像采集速度；

所述数字全息图记录模块包括激光器，半波片，偏振分束棱镜，光纤耦合器，光纤跳线两个，光纤衰减器，光纤准直镜，已经铺置了微球体的测试样品，三维调整架，手动可调放大倍率显微物镜，反射镜，衰减器，扩束准直单元，显微物镜，合束棱镜，图像采集单元，其中，激光器1发射激光束a1，半波片2和偏振分束棱镜3联合控制从偏振分束棱镜3出射的光波a2和光波a7的光强比例，光束a2通过光纤耦合器4进第一光纤跳线5输出光束a3，光束a3输入光纤衰减器6，经光纤衰减器6调节光强输出光束a4，光束a4输入第二光纤跳线7，第二光纤跳线7与光纤准直镜8连接，输出平行光束a5，该平行光束照明待测样品9输出光束a6，待测样品9已经进行了前期微球铺置工作18，待测样品放置在三维调整架19上，以便调整待测视场和物距，光束a6入射显微物镜10输出光束a7，光束a7即为经过显微物镜放大的物光波；偏振分束棱镜3出射的光束a8经过反射镜11入射衰减器12输出光束a9，并经过由显微物镜和透镜构成的扩束准直单元13得到平行光束a10，利用反用的显微物镜14获得球面参考光a11；物光波a7和参考光a11入射合束棱镜15，由图像传感器16在全息图自动采集控制模块17输出的控制信号b的控制下定时记录全息图至全息图自动采集控制模块17，得到数字全息图数据c；