[发明专利]测试仪器安装支架

说明书

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体涉及一种测试仪器安装支架。

背景技术

在集成电路中，在一个半导体的衬底上集成有上万至百万个元器件。集成电路高精密度要求，使得集成电路制备的各个步骤在无尘的洁净腔内完成，以避免集成电路在制备过程中受到污染。此外，在集成电路制备过程中，需要对工艺中的气压、温度、风速等参数进行严格控制，以确保获得的器件的质量。

为此，在集成电路制备工艺开始以前，需要在洁净腔内安装测试仪器，进行洁净腔内的气压、温度、风速等工艺参数的测试，以确保腔室内环境的稳定性，从而提高后续制备工艺各步骤中的气压、温度以及风速调控的准确性。

其中，在测试过程中，为了提高获得的数据的准确性和全面性，测试仪器需要通过测试仪器安装支架设置在洁净腔的中心位置。参考图1所示，在洁净腔内，位于中心位置的是用于安装半导体器件的吸盘装置12（Chuck），因而在测试支架安装过程中，需要将吸盘装置12从洁净腔的安装孔11内移除；接着参考图2所示，现有的测试仪器安装支架13包括一根固定轴14，在将所述吸盘装置12移除后，将测试仪器安装支架13的固定轴14插入所述固定板的安装孔11内，从而使得测试仪器安装支架13上的测试仪器位于洁净腔10的中心位置。待测试结束后，再将测试仪器安装支架13移除，将所述吸盘装置12重新安装在所述安装孔11内。

然而，现有的测试仪器安装支架13仅依靠所述固定轴14支撑，在测试过程中，测试支架容易出现晃动，从而影响测试结果；而且，所述洁净腔10需要保持特定真空度，以确保后续半导体制备工艺各步骤的顺利进行，但在测试过程中，吸盘装置12反复移除，再安装，会致使吸盘装置12和固定板磨损，从而降低吸盘装置12与洁净腔内的固定板之间的匹配性，以及吸盘装置12与安装孔11之间的密封效果，进而降低了洁净腔10内的密封效果。

此外，在洁净腔10的固定板下方还设有需要与所述吸盘装置12连接的线路以及电机等结构，吸盘装置12的反复拆卸安装，会导致吸盘装置12与其他部件之间的连接结构隐患，若吸盘装置12安装出现移位等错误，在后续半导体制备过程中，会直接导致半导体器件损坏。

为此，如何提高测试过程中，安装仪器测试稳定性，同时降低测试仪器安装支架的安装对于洁净腔内的部件的损耗，是本领域技术人员亟需解决的问题。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种测试仪器安装支架，以降低测试仪器安装支架的安装对洁净腔内的部件的损耗。

为解决上述问题，本发明提供一种测试仪器安装支架，包括：

测试仪器安装支架用于放置于洁净腔内对测试仪器进行固定支撑，所述洁净腔的底部设置有晶圆支撑装置；

所述测试仪器安装支架包括：

支撑部件，用于容纳所述晶圆支撑装置；

仪器安装部件，位于所述支撑部件上方，用于固定测试仪器。

如权利要求1所述的测试仪器安装支架，可选地，

所述晶圆支撑装置为晶圆吸盘；

所述支撑部件为一端开口一端封闭的筒状结构，所述筒状结构的开口端朝向所述洁净腔的底部放置，所述筒状结构内的空间用于容纳所述晶圆吸盘；

所述仪器安装部件固定于所述筒状结构封闭端的上方。

可选地，筒状结构的高度为10～20cm。

可选地，所述晶圆吸盘为圆形，所述支撑部件为圆筒状结构；

所述圆筒状结构的开口端直径大于所述晶圆吸盘直径。

可选地，所述圆筒状结构的开口端直径与所述晶圆吸盘直径的差值小于或等于3cm。

可选地，所述仪器安装部件在所述洁净腔的底部的投影点位于所述洁净腔的底部的中心位置。

可选地，所述支撑部件为三角支架，所述三角支架包括三根支杆，所述仪器安装部件固定在所述三角支架上方，所述三角支架中支杆的下端抵住所述洁净腔的底部，且所述三根支杆围绕所述晶圆支撑装置。

可选地，所述支杆的下端与所述晶圆支撑装置间的距离为d，3cm≥d＞0cm。

可选地，所述三角支架的高度为10～20cm。

可选地，所述晶圆支撑装置为圆形的晶圆吸盘，所述三根支杆均匀围绕所述晶圆吸盘设置。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：