[发明专利]利用静电悬浮的基板移送装置及基板移送方法

权利要求书

1.一种利用静电悬浮的基板移送装置，作为移送基板的装置，其特征在于，包括：

固定轨道，其形成一个以上的导电体；

基板，其形成一个以上的导电体；以及

电压接入设备，其在轨道侧导电体与基板侧导电体之间生成电位差；

并且，为了借助于所述接入的电压，使轨道侧导电体和基板侧导电体带有电荷，利用作用于带电的电荷之间的静电力，使基板悬浮于空中，具备：

间隔保持设备，其与轨道保持间隔，使得不接触轨道；

驱动设备，其使基板沿着所述轨道移送；

以基板与轨道保持间隔的悬浮状态移送基板。

2.根据权利要求1所述的利用静电悬浮的基板移送装置，其特征在于，

轨道侧导电体由一个以上的虚线形导电体形成，基板侧导电体由一个以上的实线形导电体形成，

向构成所述虚线形导电体的相互相邻但电气隔离的各个点状导电体交替接入(+)极与(-)极电压，

所述轨道侧虚线形导电体中带电的电荷在基板侧导电体中诱导互补性电荷。

3.根据权利要求1或2所述的利用静电悬浮的基板移送装置，其特征在于，

所述间隔保持设备是安装于轨道的滚轮，所述滚轮的一部分安装于轨道，且从轨道底面凸出，防止基板因静电引力而贴紧轨道。

4.根据权利要求3所述的利用静电悬浮的基板移送装置，其特征在于，

所述滚轮以导体为材质，向所述滚轮连接电源，作为对基板侧导电体的电压接入设备，使滚轮电气接触基板侧导电体并滚动，从而通过滚轮使基板静电悬浮并进行移送。

5.根据权利要求1或2所述的利用静电悬浮的基板移送装置，其特征在于，

所述间隔保持设备把RF或高频一同接入借助于轨道侧导电体和基板侧导电体形成的电容器与电感器，构成LC谐振电路。

6.一种利用静电悬浮的基板移送装置，作为移送基板的装置，其特征在于，包括：

固定轨道，其形成一个以上的导电体；

基板，其形成一个以上的导电体；以及

电压接入设备，其在轨道侧导电体与基板侧导电体之间生成电位差；

具备驱动设备，其借助于所述接入的电压而使轨道侧导电体和基板侧导电体带有电荷，利用作用于带电的电荷之间的静电力，使基板悬浮于空中，与轨道保持间隔使得基板不接触轨道，同时沿着所述轨道使基板移送；

所述电压接入设备作为电源装置，把所述电源装置的(+)极或(-)极连接于轨道侧导电体，其余另一极连接电阻(R1)，经所述电阻(R1)，延长为使得接触基板侧导电体的由具有弹性的导体构成的电压供应线，

经过与所述电阻(R1)分歧并连接所述电源装置两端的电阻(R2)，延长为置于基板侧导电体与轨道侧导电体之间空间的另一电压供应线，以导电弓方式使基板悬浮，保持基板与轨道的间隙。

7.根据权利要求1所述的利用静电悬浮的基板移送装置，其特征在于，

使基板沿着轨道移送的驱动设备包括静电马达，

所述静电马达包括轨道侧导电体和基板侧导电体，

所述轨道侧导电体以虚线形形成，以相邻4个隔开的导电体为单位，接入以+/0/-/0或-/0/+/0为一个周期的电压，

进行基板移送时，所述构成一个单位的导电体的电压极性，分别分区间地构成0/+/0/-或0/-/0/+中的一方，持续进行基板移送，

所述基板侧导电体针对构成所述轨道侧导电体虚线的各点状导电体，交替对应地以带有间隙的虚线形形成，交替接入+电压和-电压，借助于接入轨道侧导电体的电压，使静电引力与斥力同时作用，以静电线性马达方式水平移送基板。

8.根据权利要求1、2或7中任意一项所述的利用静电悬浮的基板移送装置，其特征在于，

为了使基板不会因静电引力而贴紧固定板而是保持既定间隔，

具备感知基板与轨道之间距离的传感器，

具备控制设备，其通过所述传感器的感应信息的反馈过程，基板与轨道之间距离如果接近，则降低接入轨道侧导电体与基板侧导电体之间的电压，如果疏远，则提高，从而以基板不接触轨道而保持既定间隔的状态移送基板。