[发明专利]压电振动片及压电装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种压电振动片及压电装置。

背景技术

在移动终端或手机等的电子设备中，搭载有晶体振子或晶体振荡器等压电装置(device)。这种压电装置已知有：由水晶振动片等的压电振动片、盖(1id)部、及基底(base)部所构成的压电装置。压电振动片包括：振动部，以规定的振动频率振动；框部，以包围振动部的方式而形成；以及连结部，连结振动部和框部。这种压电振动片是在框部的表面(其中一个主面)及背面(另一个主面)，经由接合材而分别接合有基底部及盖部。在压电振动片的振动部的表面及背面、分别形成着激振电极，且从各激振电极至框部形成着引出电极，例如公开于下述专利文献1。

这些激振电极及引出电极例如是通过以下步骤而形成。首先，利用溅镀(sputtering)法在水晶晶片(wafer)的整个表面及整个背面形成金属膜。然后，在金属膜表面涂布光阻剂(resist)，将该光阻剂膜以规定的图案(pattern)曝光及显影。接着，利用蚀刻(etching)等去除金属膜的规定部分，并去除剩余的光阻剂膜，由此在金属膜形成所需图案(激振电极及引出电极)。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2009-65437号公报

然而，在水晶晶片上形成着阶部的情况下，在显影步骤中不易去除阶部的周缘部的光阻剂膜，所以有时会残留一部分光阻剂膜。如果光阻剂膜一直残留着，那么在蚀刻步骤中无法去除金属膜，所以会在残留有原本应去除的金属膜的状态下形成电极。因此，例如在不同电极以并列地横跨同一阶部的方式而形成的情况下，金属膜会以连接该不同电极间的方式残留。结果，存在不同电极间产生电短路(short)，而引起动作不良之类的问题。

发明内容

鉴于如上所述的情况，本发明的目的在于：提供一种防止电极间的短路以抑制动作不良、且可靠性高的压电振动片及压电装置。

本发明是一种压电振动片，具有：包围振动部的框部，且在框部具备第一引出电极及第二引出电极，该第一引出电极及第二引出电极和设置于振动部的表面及背面的各激振电极电连接，且第一引出电极及第二引出电极在其中一个横跨形成于压电振动片的表面或背面的阶部而配置的情况下，另一个避免横跨该阶部而配置。

此外，也可以是如下构成，即，阶部是通过使连结部的厚度维持至振动部的一部分为止之后，使振动部变薄，而形成于振动部的表面或背面。此外，也可以是如下构成，即，振动部包括：中央部分的台面部、以及厚度比所述台面部薄的台面周边部，阶部是形成于台面周边部。此外，也可以是如下构成，即，第一引出电极包括：从框部的表面引出至框部的背面的背面侧电极，在第二引出电极横跨阶部而配置的情况下，该背面侧电极避免横跨该阶部而配置。此外，本发明中，提供一种包含所述压电振动片的压电装置。

[发明效果]

根据本发明，可提供一种能够防止第一引出电极和第二引出电极之间的短路以抑制动作不良、且可靠性高的压电振动片及压电装置。

附图说明

图1是表示第一实施方式的压电振动片的构成的俯视图。

图2A～图2B是关于图1的压电振动片，图2A是沿图1的A-A线的剖视图，图2B是沿图1的B-B线的剖视图。

图3是针对压电振动片的比较例放大主要部分所得的俯视图。

图4是表示第二实施方式的压电振动片的俯视图。

图5A～图5B是关于图4的压电振动片，图5A是沿图4的C-C线的剖视图，图5B是沿图4的D-D线的剖视图。

图6是表示压电装置的实施方式的分解立体图。

图7是沿图6的E-E线的剖视图。

[符号的说明]

100：压电装置

110：盖部

111、121：凹部

112、122：接合面

120：基底部

123、123a：城堡型结构

124、124a：城堡型结构电极

125、125a：连接电极

126、126a：外部电极

130、230：压电振动片

131：振动部

131a：振动部的侧面

132：框部

132a：框部的表面

132b：框部的背面

132c：框部内侧的侧面

133：连结部

133a：连结部的表面

133b：连结部的背面