[发明专利]机械手、机械手控制装置以及机械手系统

权利要求书

1.一种机械手，其特征在于，具备：

基台；

第一臂部，其按照能够以第一转动轴为转动中心转动的方式连结于所述基台；

第二臂部，其按照能够以第二转动轴为转动中心转动的方式连结于所述第一臂部，该第二转动轴是与所述第一转动轴正交的轴或与正交于所述第一转动轴的轴平行的轴；

第三臂部，其按照能够以第三转动轴为转动中心转动的方式连结于所述第二臂部，该第三转动轴是与所述第二转动轴平行的轴；

第一角速度传感器，其设置于所述第一臂部，并且角速度的检测轴与所述第一转动轴平行；

第二角速度传感器，其设置于所述第二臂部，并且角速度的检测轴与所述第二转动轴平行；

第三角速度传感器，其设置于所述第三臂部，并且角速度的检测轴与所述第三转动轴平行；

第四臂部，其按照能够以第四转动轴为转动中心转动的方式连结于所述第三臂部，该第四转动轴是与所述第三转动轴正交的轴或与正交于所述第三转动轴的轴平行的轴；

第五臂部，其按照能够以第五转动轴为转动中心转动的方式连结于所述第四臂部，该第五转动轴是与所述第四转动轴正交的轴或与正交于所述第四转动轴的轴平行的轴；以及

第六臂部，其按照能够以第六转动轴为转动中心转动的方式连结于所述第五臂部，该第六转动轴是与所述第五转动轴正交的轴或与正交于所述第五转动轴的轴平行的轴，

在所述第四臂部、所述第五臂部、所述第六臂部未设置用于抑制振动的角速度传感器。

2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，具备：

第一角速度传感器单元，其具有第一壳体、所述第一角速度传感器以及电路部，所述第一角速度传感器以及所述电路部设置于所述第一壳体内，所述电路部对从所述第一角速度传感器输出的信号进行AD转换并进行发送；

第二角速度传感器单元，其具有第二壳体、所述第二角速度传感器以及电路部，所述第二角速度传感器以及所述电路部设置于所述第二壳体内，所述电路部对从所述第二角速度传感器输出的信号进行AD转换并进行发送；以及

第三角速度传感器单元，其具有第三壳体、所述第三角速度传感器以及电路部，所述第三角速度传感器以及所述电路部设置于所述第三壳体内，所述电路部对从所述第三角速度传感器输出的信号进行AD转换并进行发送，

所述第一角速度传感器单元设置于所述第一臂部，所述第二角速度传感器单元设置于所述第二臂部，所述第三角速度传感器单元设置于所述第三臂部。

3.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，

所述第一壳体、所述第二壳体以及所述第三壳体的外形分别是长方体，

所述第一角速度传感器的所述角速度的检测轴与所述第一壳体的所述长方体的最大面的法线一致，

所述第二角速度传感器的所述角速度的检测轴与所述第二壳体的所述长方体的最大面的法线一致，

所述第三角速度传感器的所述角速度的检测轴与所述第三壳体的所述长方体的最大面的法线一致。

4.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，

所述第一角速度传感器、所述第二角速度传感器以及所述第三角速度传感器分别具有陀螺元件，

在将相互正交的两轴设定为第一轴以及第二轴时，

所述陀螺元件具备：基部；

一对检测用振动臂，它们从所述基部与所述第一轴平行且向相互相反的方向延伸突出；

一对连结臂，它们从所述基部与所述第二轴平行且向相互相反的方向延伸突出；以及

一对驱动用振动臂，它们从各所述连结臂的前端部或中部与所述第一轴平行且向相互相反的方向延伸突出。

5.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，

所述第一壳体在所述第一壳体的角部具有安装于所述第一臂部的安装部，

所述第二壳体在所述第二壳体的角部具有安装于所述第二臂部的安装部，

所述第三壳体在所述第三壳体的角部具有安装于所述第三臂部的安装部。