[发明专利]一种复合结构的金属石墨烯及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201410090749.X 申请日: 2014-03-12
公开(公告)号: CN103887352A 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 刘锋;郝英华;赵晓静;宋聪欣;陈陆懿;石旺舟 申请(专利权)人: 上海师范大学
主分类号: H01L31/028 分类号: H01L31/028;H01L31/18;B82Y30/00
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 刘懿
地址: 200234 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 复合 结构 金属 石墨 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种复合结构的金属石墨烯,其特征在于,所述金属石墨烯由双联通分相结构的纳米多孔金和石墨烯薄膜组成,石墨烯薄膜覆盖在纳米多孔金上。

2.根据权利要求1所述的复合结构的金属石墨烯的制备方法,其特征在于,步骤如下:

(1)纳米多孔金的制备:

用浓硝酸湿法刻蚀金银合金薄膜,用去离子水清洗合金薄膜,再用硅片捞出去离子水中的金属薄膜,即具有双联通分相结构的纳米多孔金;

(2)石墨烯至纳米多孔金上的转移:

在铜衬底上制备石墨烯,在石墨烯上涂覆PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)薄膜,刻蚀覆有石墨烯的铜基底,当铜基底被完全溶解后,用纳米多孔金捞出涂覆有PMMA薄膜的石墨烯,清洗后烘干,去除PMMA,再次烘干,得复合结构的金属石墨烯。

3.根据权利要求1所述的复合结构的金属石墨烯的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,在铜衬底上制备石墨烯的方法为化学气相沉积方法。

4.根据权利要求1所述的复合结构的金属石墨烯的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,在石墨烯上涂覆PMMA薄膜的方法为旋涂法。

5.根据权利要求1所述的复合结构的金属石墨烯的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,去除PMMA的方法为使用丙酮。

6.根据权利要求1所述的复合结构的金属石墨烯的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,蚀刻铜基底的蚀刻液为硫酸铜、浓硫酸、水按1g:5mL:5mL比例配制。

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