[发明专利]蚀刻液浓度测量装置及方法

权利要求书

1.一种蚀刻液浓度测量装置，其特征在于，包括浓度测量机构（2）及与所述浓度测量机构（2）相连的酸雾消除机构（1），所述酸雾消除机构（1）用于消除所述浓度测量机构（2）内部的酸雾，所述浓度测量机构（2）用于实时接收蚀刻液并在无酸雾环境下测量所述蚀刻液混酸中各酸的吸光度，并根据所述吸光度计算所述蚀刻液混酸中各酸的浓度。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液浓度测量装置，其特征在于，还包括与所述浓度测量机构（2）相连的盛装所述蚀刻液的供应槽（3），所述供应槽（3）用于实时向所述浓度测量机构（2）供应蚀刻液。

3.根据权利要求2所述的蚀刻液浓度测量装置，其特征在于，所述酸雾消除机构（1）内有干燥气体，且所述酸雾消除机构（1）与所述浓度测量机构（2）之间形成循环回路，所述酸雾消除机构（1）内的干燥气体在将所述浓度测量机构（2）内的酸雾带出并对带出的酸雾进行干燥处理后，所述处理后的干燥气体又循环至所述浓度测量机构（2）内。

4.根据权利要求3所述的蚀刻液浓度测量装置，其特征在于，所述酸雾消除机构（1）包括：

分别与所述浓度测量机构（2）连接的进气管路（11）和出气管路（12）；

与所述进气管路（11）固定连接的储气罐（13），所述干燥气体装在所述储气罐（13）内；

设置在所述出气管路（12）与所述储气罐（13）之间的干燥罐（14），且所述储气罐（13）、进气管路（11）、浓度测量机构（2）、出气管路（12）和干燥罐（14）形成所述循环回路，所述干燥罐（14）内装有干燥剂。

5.根据权利要求4所述的蚀刻液浓度测量装置，其特征在于，所述储气罐（13）内装的干燥气体为空气或氮气。

6.根据权利要求4所述的蚀刻液浓度测量装置，其特征在于，所述干燥剂为氧化钙和氢氧化钠的混合物。

7.根据权利要求4所述的蚀刻液浓度测量装置，其特征在于，还包括用于连通所述干燥罐（14）和储气罐（13）的单向管路（15），所述干燥罐（14）干燥后的干燥气体经所述单向管路（15）回流至所述储气罐（13）内。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的蚀刻液浓度测量装置，其特征在于，所述蚀刻液按重量百分含量包括：70%～72%磷酸，1.8%～2.0%硝酸，9.5%～10.5%醋酸和余量的水。

9.根据权利要求7所述的蚀刻液浓度测量装置，其特征在于，所述进气管路（11）上设有用于调节所述储气罐（13）内的干燥气体流量的第一阀门（16），所述单向管路（15）上设有用于调节所述干燥罐（14）内的干燥气体流量的第二阀门（17）。

10.一种蚀刻液浓度测量方法，利用蚀刻液浓度测量装置进行测量，其特征在于，所述蚀刻液浓度测量装置包括浓度测量机构（2）、为所述浓度测量机构（2）供应蚀刻液的供应槽（3）及用于消除所述浓度测量机构（2）内的酸雾的酸雾消除机构（1）；所述测量方法包括以下步骤：

连接所述酸雾消除机构（1）与浓度测量机构（2）；

将所述供应槽（3）与浓度测量机构（2）在线连接起来；

所述供应槽（1）内的蚀刻液流向所述浓度测量机构（2）内，开启所述酸雾消除机构（1），使所述浓度测量机构（2）内部的酸雾被带出并将带出的酸雾进行干燥处理后循环至所述浓度测量机构（2）内再带出酸雾；

所述浓度测量机构（2）在无酸雾环境下实时测量所述蚀刻液混酸中各酸的吸光度，并根据所述吸光度计算所述蚀刻液混酸中各酸的浓度。