[发明专利]非平衡等离子体产生装置及颗粒状粉末表面改性处理系统

权利要求书

1.一种非平衡等离子体产生装置，其特征在于，包括腔体、屏蔽网以及设置在腔体内的高压电极单元和低压电极单元；

所述腔体中相对的两个表面作为高压电极绝缘盖板(105)和低压电极绝缘盖板(106)，相对的两个侧面作为屏蔽网(110、111)，另外两个相对的侧面作为密封绝缘板(112)；

所述高压电极单元设置在所述高压电极绝缘盖板(105)的下表面，所述高压电极单元包括多个均匀阵列排布的高压线电极(101)，在所述高压电极绝缘盖板(105)上设置有多个均匀阵列排布的第一通孔(107)；各个高压线电极(101)的一端与所述高压电极引线(103)的一端固定；所述高压线电极(101)的另一端通过所述高压电极固定螺栓(113)固定，所述高压电极引线(103)的另一端通过所述第一通孔(107)引出；并将各个高压电极引线(103)连接后作为所述非平衡等离子体产生装置的脉冲高压输入端；

所述低压电极单元设置在所述低压电极绝缘盖板(106)的下表面，所述低压电极单元包括多个均匀阵列排布的低压线电极(102)；在所述低压电极绝缘盖板(106)上设置有多个均匀阵列排布的第二通孔(108)；各个低压线电极(102)的一端与所述低压电极引线(104)的一端固定；所述低压线电极(102)的另一端通过所述低压电极固定螺栓(114)固定，所述低压电极引线(104)的另一端通过所述第二通孔(108)引出；并将各个低压电极引线(103)连接后接地。

2.如权利要求1所述的非平衡等离子体产生装置，其特征在于，所述高压线电极(101)和所述低压线电极(102)的结构相同，所述高压线电极(101)的直径为0.2mm至1mm；所述高压线电极(101)的长度为10cm至200cm。

3.如权利要求1或2所述的非平衡等离子体产生装置，其特征在于，所述高压线电极(101)和低压线电极(102)的垂直间距为2cm至8cm，高压电极单元中的各个高压线电极(101)的水平间距为5cm至15cm。

4.如权利要求1-3任一项所述的非平衡等离子体产生装置，其特征在于，所述非平衡等离子体产生装置的脉冲高压输入端接收的纳秒脉冲的重复频率为100Hz至1000Hz，电压幅值为50kV至150kV，单次高压脉冲的上升沿时间为30ns。

5.如权利要求1-4任一项所述的非平衡等离子体产生装置，其特征在于，所述屏蔽网(110、111)的网孔直径为0.5mm。

6.一种颗粒状粉末表面改性处理系统，包括非平衡等离子体产生装置(1)、脉冲发生器(2)和收纳笼(5)，所述脉冲发生器(2)通过高压导线与所述非平衡等离子体产生装置(1)的脉冲高压输入端连接；所述收纳笼(5)用于收集已处理颗粒(4)；其特征在于，所述非平衡等离子体产生装置(1)为上述权利要求1-5任一项所述的非平衡等离子体产生装置。