[发明专利]循环感测设备及其使用方法

权利要求书

1.一种循环感测设备，包括：

一个MEMS器件，其中，该MEMS器件包括第一感测电极和第二感测电极；

一个耦联到该第一感测电极和该第二感测电极上的多路复用器；

耦联到该多路复用器上的至少一个感测放大器；

一个耦联到该至少一个感测放大器上的解调器；

一个耦联到该解调器上的集成和排空电路；以及

耦联到一个解复用器上的一个模拟数字转换器ADC；其中，该多路复用器、该至少一个感测放大器和该解调器在可复位的放大过程中提供一条连续时间感测路径，并且其中，当在该第一感测电极和该第二感测电极之间进行切换时，该集成和排空电路和该ADC提供一条离散时间处理路径，

其中，该至少一个感测放大器包括第一感测放大器和第二感测放大器。

2.如权利要求1所述的循环感测设备，其中，该循环感测设备包括一个多轴陀螺仪。

3.如权利要求2所述的循环感测设备，进一步包括一个用于驱动该MEMS器件的驱动系统。

4.如权利要求3所述的循环感测设备，进一步包括一个耦联到驱动系统和该至少一个感测放大器上的穿心电容器。

5.如权利要求1所述的循环感测设备，其中，该第一感测电极在一个第一轴内进行感测，并且该第二感测电极在一个第二轴内进行感测。

6.如权利要求1所述的循环感测设备，其中，所述第一感测放大器和所述第二感测放大器彼此串联耦联，并且其中所述第一感测放大器和所述第二感测放大器耦联到该多路复用器上，并且其中所述第一感测放大器和所述第二感测放大器各自可复位，并且其中当所述第一感测放大器转换出复位模式时，所述第二感测放大器保持在复位模式，并且其中所述第二感测放大器在所述第一感测放大器转换出所述复位模式之后被转换出所述复位模式。

7.如权利要求6所述的循环感测设备，其中，该第一感测放大器包括一个耦联到该多路复用器上的第一运算放大器、一个第一复位开关和一个以反馈关系耦联到该第一运算放大器上的第一反馈电容器。

8.如权利要求6所述的循环感测设备，其中，该第二感测放大器包括一个耦联到该第一感测放大器上的输入电容器、一个耦联到该输入电容器上的第二运算放大器、一个第二复位开关和一个以反馈关系与该第二运算放大器耦联的第二反馈电容器。

9.如权利要求1所述的循环感测设备，其中，该集成和排空电路包括：

一个输入解复用器；

耦联到该输入解复用器上的一个第一集成器和一个第二集成器；以及

一个耦联到该第一集成器和第二集成器的一个输出端上的多路复用器。

10.如权利要求9所述的循环感测设备，其中，该第一集成器和该第二集成器中的每个集成器包括：

一个耦联到该输入解复用器上的电阻器；

一个耦联到该电阻器上的运算放大器；

一个以反馈关系与该运算放大器耦联的复位开关；以及

一个以反馈关系与该运算放大器耦联的电容器。

11.如权利要求9所述的循环感测设备，其中，该输入解复用器包括一个电阻器，并且该第一集成器和该第二集成器中的每个集成器包括：

一个耦联到该输入解复用器上的运算放大器；

一个以反馈关系与该运算放大器耦联的复位开关；以及

一个以反馈关系与该运算放大器耦联的电容器。

12.一种循环感测设备，包括：

一个MEMS器件，其中，该MEMS器件包括第一感测电极和第二感测电极；

被适配成用于选择性地耦联到该第一感测电极和该第二感测电极上的多个感测放大器；

一个耦联到该多个感测放大器上的解调器；

一个耦联到该解调器上的集成和排空电路；以及

耦联到一个解复用器上的一个模拟数字转换器ADC；其中，该解复用器、该多个感测放大器和该解调器在可复位的放大过程中提供一条连续时间感测路径，并且其中，当在该第一感测电极和该第二感测电极之间进行切换时，该集成和排空电路和该ADC提供一条离散时间处理路径，

其中，该多个感测放大器包括第一感测放大器和第二感测放大器。