[发明专利]处理器以及检查装置

权利要求书

1.一种处理器，其特征在于，具有：

保持单元安装部，其能够得到保持搬运对象物的保持单元被安装的安装状态；以及

搬运机构，其对保持于上述保持单元的上述搬运对象物进行搬运，

上述保持单元安装部具有产生热的发热部、以及供被上述发热部加热并用于加热上述搬运对象物的流体通过的流路，

上述流路配置于上述发热部与上述保持单元之间，上述发热部沿水平方向配置，并在俯视情况下在多个位置与上述流路交叉。

2.根据权利要求1所述的处理器，其中，

上述保持单元安装部具有与上述保持单元抵接的抵接面，

上述流路具有在上述抵接面开口并将上述流体向上述保持单元供给的供给口。

3.根据权利要求1或者2所述的处理器，其中，

在上述流路的中途具有屈曲或者弯曲的部分。

4.根据权利要求1或者2所述的处理器，其中，

上述流路曲折形成。

5.根据权利要求1或者2所述的处理器，其中，

上述保持单元安装部具有设置有上述流路和上述发热部的主体部，

上述发热部产生的热经由上述主体部传递至上述保持单元而加热上述搬运对象物。

6.根据权利要求1或者2所述的处理器，其中，

上述发热部通过通电而产生热。

7.根据权利要求6所述的处理器，其中，

上述发热部由形成为棒状并沿水平方向配置的加热器构成。

8.权利要求1或者2所述的处理器，其中，

具备热交换部，其配置于上述流路的上游侧，在上述流体到达上述流路之前对上述流体进行加热或者冷却。

9.根据权利要求1或者2所述的处理器，其中，具备：

流体供给源，其将上述流体向上述流路供给；以及

切换部，其配置于上述流体供给源与上述流路之间，对来自上述流体供给源的上述流体的供给和该供给的停止进行切换。

10.根据权利要求9所述的处理器，其中，

上述切换部在上述保持单元保持上述对象物的期间，切换为能够进行上述供给的状态。

11.根据权利要求1或者2所述的处理器，其中，

上述流体是被压缩了的空气。

12.根据权利要求1或者2所述的处理器，其中，

上述保持单元安装部具有与上述流路独立设置的第二流路，

上述保持单元具有吸附部件，该吸附部件形成为具有内腔部的筒状，吸附并保持上述对象物，

上述内腔部经由上述第二流路与对上述内腔部进行抽吸的抽吸单元连接。

13.根据权利要求1或者2所述的处理器，其中，

具备能够设置对上述搬运对象物进行载置的插口的插口设置部，

上述搬运机构构成为朝向还未载置上述搬运对象物的状态下的上述插口搬运上述对象物。

14.一种检查装置，其特征在于，具备：

权利要求1～13的任一项所述的处理器；以及

安装于上述保持单元安装部的保持单元。