[发明专利]机械手、机械手控制装置以及机械手系统

说明书

技术领域

本发明涉及机械手、机械手控制装置以及机械手系统。

背景技术

在专利文献1所述的机械手中，在前端部、即最前端侧的第六连杆，设置有对相互正交的X轴、Y轴、Z轴各自的方向的加速度、绕X轴、Y轴、Z轴各自轴的加速度进行检测的六轴传感器，根据该六轴传感器的检测结果，针对各连杆，分别求出绕目的轴的角速度的振动成分，从而进行抑制振动的控制。此外，将连杆的角速度的振动成分称为“扭转角速度”或者“振动角速度”等。

专利文献1：日本特开2011－136395号公报

在专利文献1所述的机械手中，由于因机械手的运动而引起六轴传感器的姿势改变，所以需要根据上述六轴传感器的检测结果来进行被称为雅可比变换的坐标轴变换等，从而求出各连杆的角速度的振动成分。并且，需要配合每时每刻变化的马达的转动角度来进行计算。

因此，需要复杂且庞大的运算处理，从而需要具有高性能、高价的CPU（Central Processing Unit：中央处理器）等的控制装置，因而存在成本增大的问题。

另外，由于需要复杂且庞大的运算处理，所以容易产生运算误差，从而存在由于该运算误差而无法充分抑制振动之类的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够容易并且可靠地抑制振动的机械手、机械手控制装置以及机械手系统。

这样的目的能够通过下述本发明来实现。

本发明的机械手的特征在于，具备：

基台；

第一臂，其以能够以第一转动轴为转动中心转动的方式与上述基台连结；

第二臂，其以能够以第二转动轴为转动中心转动的方式与上述第一臂连结，上述第二转动轴是与上述第一转动轴正交的轴或者与正交于上述第一转动轴的轴平行的轴；

第三臂，其以能够以第三转动轴为转动中心转动的方式与上述第二臂连结，上述第三转动轴是与上述第二转动轴平行的轴；

第一角速度传感器，其设置于上述第一臂，并且其角速度的检测轴与上述第一转动轴平行；以及

第二角速度传感器，其设置于上述第二臂，并且其角速度的检测轴与上述第三转动轴平行。

由此，能够容易并且可靠地抑制振动。

即，首先，利用第一角速度传感器而能够检测第一臂的角速度。另外，利用第二角速度传感器而能够检测包含第三臂的振动成分的第二臂的角速度。而且，根据上述检测结果而能够抑制振动。

另外，即使机械手的姿势发生变化，第一角速度传感器的角速度的检测轴也是恒定的。因此，无需对由第一角速度传感器检测出的第一臂的角速度进行基于第一角速度传感器的朝向的修正。

另外，由于第三转动轴以及第二转动轴与第一转动轴正交或者平行于与第一转动轴正交的轴，所以即使机械手的姿势发生变化，例如，第一臂转动或者第二臂转动，第二角速度传感器的角速度的检测轴也是恒定的。因此，无需对由第二角速度传感器检测出的第二臂的角速度进行基于第二角速度传感器的朝向的修正。

由此，无需复杂且庞大的运算，由此，难以产生运算误差，从而能够可靠地抑制振动，并能够提高机械手的控制的响应速度。

另外，由于利用第二角速度传感器而检测包含第三臂的振动成分的第二臂的角速度，所以能够更可靠地抑制振动。

另外，与也在第三臂设置角速度传感器的情况相比，能够减少角速度传感器的数量，而能够减少成本，另外，还能够简化结构。

在本发明的机械手中，优选在上述第二臂以及上述第三臂的至少一方，配置有位于上述第三转动轴上的减速器。

由此，能够更精确地进行第三臂的相对于第二臂的转动。这样，在第二臂与第三臂经由减速器而连结的情况下，即使欲在第三臂也设置角速度传感器，也有在第三臂内无法确保配置角速度传感器的足够的空间的情况。另外，即使已经在第三臂内配置角速度传感器，也需要将来自角速度传感器的配线通过减速器内而向第二臂拉出。因此，必须在减速器确保用于供上述配线通过的空间，从而可能会引起减速器的大型化以及刚性的降低。

在本发明的机械手中，优选具备：

第一角速度传感器单元，其具有：第一壳体；设置于上述第一壳体内的上述第一角速度传感器；以及设置于上述第一壳体内的、对从上述第一角速度传感器输出的信号进行AD转换并发送的电路部；以及

第二角速度传感器单元，其具有：第二壳体；设置于上述第二壳体内的上述第二角速度传感器；以及设置于上述第二壳体内的、对从上述第二角速度传感器输出的信号进行AD转换并发送的电路部，