[发明专利]一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装结构有效
申请号: | 201410094355.1 | 申请日: | 2014-03-14 |
公开(公告)号: | CN103904396A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 王绍东;高艳红;吴洪江 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | H01P3/16 | 分类号: | H01P3/16 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 米文智 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 siw 毫米波 芯片 气密性 封装 结构 | ||
1.一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于包括自上而下依次密封连接的底座(6)、LTCC基板、密封环(2)以及盖板(1);其中
底座(6)的中央设有烧结毫米波芯片的凸台(3);
LTCC基板绕凸台(3)四周设置,且由上下排列的陶瓷腔体层(4)和信号传输层(5)组成,陶瓷腔体层(4)和信号传输层(5)的上表面都涂有金属层,所述信号传输层(5)其中一对相对的两边为传输射频信号的SIW结构;
密封环(2)位于陶瓷腔体层(4)的上部;
盖板(1)位于密封环(2)的上方,两者密封配合。
2.根据权利要求1所述的一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于信号传输层(5)中SIW结构的两边的边宽至少为4.5mm。
3.根据权利要求1或2所述的一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于信号传输层(5)由4层LTCC带料烧结而成,每层的厚度为0.097mm。
4.根据权利要求1或2所述的一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于密封环(2)的边宽小于或等于陶瓷腔体层(4)的边宽。
5.根据权利要求1或2所述的一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于所述密封环(2)为可伐环。
6.根据权利要求1所述的一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于所述密封环(2)采用与LTCC基板的热膨胀系数相近的可伐材料制成。
7.根据权利要求1所述的一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于所述底座(6)的材料为钨铜、钼铜或无氧铜材料。
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