[发明专利]一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装结构有效

专利信息
申请号: 201410094355.1 申请日: 2014-03-14
公开(公告)号: CN103904396A 公开(公告)日: 2014-07-02
发明(设计)人: 王绍东;高艳红;吴洪江 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
主分类号: H01P3/16 分类号: H01P3/16
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 米文智
地址: 050051 *** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 siw 毫米波 芯片 气密性 封装 结构
【权利要求书】:

1.一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于包括自上而下依次密封连接的底座(6)、LTCC基板、密封环(2)以及盖板(1);其中

底座(6)的中央设有烧结毫米波芯片的凸台(3);

LTCC基板绕凸台(3)四周设置,且由上下排列的陶瓷腔体层(4)和信号传输层(5)组成,陶瓷腔体层(4)和信号传输层(5)的上表面都涂有金属层,所述信号传输层(5)其中一对相对的两边为传输射频信号的SIW结构;

密封环(2)位于陶瓷腔体层(4)的上部; 

盖板(1)位于密封环(2)的上方,两者密封配合。

2.根据权利要求1所述的一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于信号传输层(5)中SIW结构的两边的边宽至少为4.5mm。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于信号传输层(5)由4层LTCC带料烧结而成,每层的厚度为0.097mm。

4.根据权利要求1或2所述的一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于密封环(2)的边宽小于或等于陶瓷腔体层(4)的边宽。

5.根据权利要求1或2所述的一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于所述密封环(2)为可伐环。

6.根据权利要求1所述的一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于所述密封环(2)采用与LTCC基板的热膨胀系数相近的可伐材料制成。

7.根据权利要求1所述的一种基于SIW的毫米波芯片气密性封装,其特征在于所述底座(6)的材料为钨铜、钼铜或无氧铜材料。

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