[发明专利]一种覆胶固晶设备

权利要求书

1.一种覆胶固晶设备，其特征在于，包括：

晶圆盘，用于放置待固晶的晶粒；

胶盘，用于对该晶粒的底部包覆胶水进行黏胶处理；

载体，用于提供该晶粒的待固晶位；

固晶臂，用于拾取该晶粒，并通过该固晶臂将所述晶粒送至胶盘工位进行黏胶处理，再通过该固晶臂将黏胶处理后的晶粒粘焊在载体上的待固晶位；

还包括一旋转装置，四个所述固晶臂间隔设置在所述旋转装置的周侧，通过所述旋转装置带动转动至预定工位，所述晶圆盘、胶盘、载体依次设置在所述固晶臂运动轨迹上的预定工位；

所述预定工位包括：拾晶位、黏胶位及固晶位；

还包括清洗盘，用于固晶后对固晶臂端部的吸嘴座上的吸嘴进行清洁处理；

在固晶臂圆形运动轨迹的工位上依次设置有晶圆盘、胶盘、载体、清洗盘，将固晶臂圆形运动轨迹均分为四个方向的工位，而晶圆盘、胶盘、载体、清洗盘按照固晶循序依次放置在对应的四个方向的工位上；

所述固晶臂端部设置有拾取装置，所述拾取装置通过真空吸附的方式将晶圆盘上顶起的晶粒抓住。

2.根据权利要求1所述的覆胶固晶设备，其特征在于，所述旋转装置为一驱动电机，所述驱动电机的驱动端套接有旋转安装座，所述固晶臂可上下运动地安装在所述旋转安装座上。

3.根据权利要求2所述的覆胶固晶设备，其特征在于，所述旋转安装座的周侧均匀分布有若干个安装位，所述固晶臂的端部活动连接在所述安装位上。

4.根据权利要求1所述的覆胶固晶设备，其特征在于，所述拾取装置为一吸嘴座，所述吸嘴座上设置有吸嘴，用于吸附待固晶的晶粒。