[发明专利]一种咪唑啉复配缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种咪唑啉复配缓蚀剂，其特征在于：所述复配缓蚀剂由脲基亚麻籽油咪唑啉季铵盐、六亚甲基四胺、钼酸钠和异丙醇组成，其质量分数分别为：脲基亚麻籽油咪唑啉季铵盐55%-65%、六亚甲基四胺5%-10%、钼酸钠5%-10%、异丙醇20%-35%，各组份百分含量之和为100%；所述脲基亚麻籽油咪唑啉季铵盐的分子结构式为：

其中R包括R1、R2、R3和R4；

2.一种权利要求1所述的咪唑啉复配缓蚀剂的应用，其特征在于：按照每100g腐蚀介质中含有0.1–1g复配型缓蚀剂的比例，将复配型缓蚀剂添加到腐蚀介质中。

3.根据权利要求2所述的咪唑啉复配缓蚀剂的应用，其特征在于：所述的腐蚀介质为强酸性腐蚀介质。

4.根据权利要求2所述的咪唑啉复配缓蚀剂的应用，其特征在于：所述的腐蚀介质为质量分数5%-20%HCl水溶液。

5.根据权利要求2所述的咪唑啉复配缓蚀剂的应用，其特征在于：所述的腐蚀介质为质量分数6%-12%HCl+1%-5%HF水溶液。

6.一种权利要求1所述的咪唑啉复配缓蚀剂的制备方法，其特征在于：包括以下几个步骤：步骤一：脲基亚麻籽油咪唑啉季铵盐的制备；按摩尔比例1:1–1:3的亚麻籽油和三乙烯四胺溶于二甲苯溶剂，每摩尔亚麻籽油加入二甲苯体积为20–40ml，混合均匀后在氮气保护下缓慢加热到100-150℃，加入甲醇钠催化剂，在磁力搅拌条件下反应3–4小时，所述的催化剂的加入量为每摩尔亚麻籽油中加入0.1–0.5g，反应结束后升温至180-220℃，采用分水器使得二甲苯循环使用，至得到理论产量的水，所得产物为亚麻籽油咪唑啉；

接着降温至110-160℃，按摩尔比例1:0.5–1:1.2将硫脲缓慢加入至上述产物中，在机械搅拌条件下冷凝回流6–8h，得到脲基亚麻籽油咪唑啉产物。再次降温至70-100℃，按摩尔比例1:0.8–1:2将氯乙酸钠缓慢加入至产物中，在机械搅拌条件下冷凝回流7–10h，得到最终产物脲基亚麻籽油咪唑啉季铵盐；

反应方程式为：

R包括R1、R2、R3和R4；

所述的脲基亚麻籽油咪唑啉季铵盐缓蚀剂为粘稠的黄色油状液体，微溶于水，纯度为50–90%；

步骤二：复配型缓蚀剂的制备；

将脲基亚麻籽油咪唑啉季铵盐、六亚甲基四胺、钼酸钠和异丙醇按其质量分数分别为55%-65%、5%-10%、5%-10%和20%-35%进行混合，各组份百分含量之和为100%，即得到复配型缓蚀剂。