[发明专利]基底移动单元、沉积装置和制造有机发光显示装置的方法

说明书

提供了一种允许沉积材料被精确地沉积在基底的目标部位上的用于沉积装置的基底移动单元。该基底移动单元包括具有基底可被固定在其上的第一表面的静电卡盘和被设置在静电卡盘的第二表面上的磁力施加单元。还提出了包括该基底移动单元的沉积装置、制造有机发光显示装置的方法和通过使用该方法制造的有机发光显示装置。

相关申请的交叉引用

本申请要求2013年5月27日递交到韩国知识产权局的韩国专利申请10-2013-0059930的权益，该申请的公开通过引用整体合并于此。

技术领域

本发明构思涉及基底移动单元，更特别地，涉及允许沉积材料被精确地沉积在基底上的用于沉积的基底移动单元。

背景技术

在显示装置中，有机发光显示设备作为下一代主流显示器备受瞩目。这是由于有机发光显示设备相比许多其他显示设备提供的各种优点，例如更宽的视角、更好的对比度特性和更快的响应速度。

有机发光显示设备包括中间层，中间层包括设置在第一电极和第二电极之间的发光层。第一电极、第二电极和中间层可以使用各种方法被形成，这些方法中的一种是独立的沉积方法。当有机发光显示装置使用该沉积方法被制造时，具有与例如中间层的图案相同或相似的图案的精细金属掩模（FMM）被设置为靠近待在其上形成中间层的基底，并且用于中间层的材料被沉积在其上，以形成具有预定图案的中间层。

然而，根据使用FMM的相关技术的沉积方法对于制备大型有机发光显示装置出现困难。通过使用大型母玻璃来制造大型有机发光显示装置时使用大型FMM。通过使用大型母基底来同时制造多个有机发光显示装置时也使用大型FMM。在包含大型FMM的制造工艺中，FMM可能由于其自身重量而弯曲，使得难以形成具有预定精细图案的中间层。此外，对准大型基底和大型FMM彼此靠近、在其上进行沉积以及从基底分离FMM是耗时的，导致制造时间长并且生产效率低。

发明内容

提出了一种允许沉积材料被精确地沉积在基底上的目标部位上的用于沉积装置的基底移动单元、包括该基底移动单元的沉积装置、制造有机发光显示装置的方法和通过使用该方法制造的有机发光显示装置。

另外的方面一部分将在随后的描述中提出，一部分将从描述变得明显，或者可以由对所提出的实施例的实践而知晓。

根据本发明的方面，一种用于沉积装置的基底移动单元包括：静电卡盘，被配置为将基底固定在第一表面上；以及磁力施加单元，被设置在静电卡盘的第二表面上。

静电卡盘的第一表面可以具有基底安装表面和位于基底安装表面的一侧的第一缓冲表面，磁力施加单元覆盖至少基底安装表面和第一缓冲表面。

静电卡盘的第一表面可以进一步具有位于基底安装表面的另一侧的余留表面，其中第一缓冲表面大于余留表面。

基底移动单元可以进一步包括被设置在第一缓冲表面上的第一伪基底。

静电卡盘的第一表面可以进一步具有位于基底安装表面的另一侧的第二缓冲表面，磁力施加单元进一步覆盖第二缓冲表面。在这点上，基底移动单元可以进一步包括：设置在第二缓冲表面上的第二伪基底。

根据本发明的另一方面，一种沉积装置包括：移动单元，包括：配置为可拆卸地将基底固定在第一表面上的静电卡盘和设置在静电卡盘的第二表面上的磁力施加单元；传送单元，包括：配置为在第一方向传送移动单元的第一传送单元和配置为在与第一方向相反的第二方向传送移动单元的第二传送单元，其中第一传送单元和第二传送单元循环移动移动单元；以及沉积单元，包括配置为在第一传送单元传送固定在移动单元上的基底的同时且与基底隔开的同时在基底上沉积材料的至少一个沉积组件，其中沉积组件包括：被配置为容纳沉积材料的沉积源；被配置为从沉积源向第一传送单元喷射沉积材料的沉积源喷嘴；和在沉积源喷嘴和移动单元之间的图案化缝隙片，图案化缝隙片包括多个图案化缝隙。