[发明专利]波浪纹型蓝宝石衬底及其制备方法

权利要求书

1.一种波浪纹型蓝宝石衬底，其特征在于：所述的波浪纹型蓝宝石衬底的平坦表面上等距离规则排列若干凸起的周期图形，每个周期图形由至少5个三角圆锥体构成，所述的三角圆锥体的角度范围为20-60°，每个周期图形的高度和底宽分别为0.1-2μm、2-3μm。

2.根据权利要求1所述的波浪纹型蓝宝石衬底，其特征在于：每个周期图形的高度和底宽分别为0.5-0.7μm、2.5-2.8μm。

3.根据权利要求1所述的波浪纹型蓝宝石衬底，其特征在于：所述的三角圆锥体的角度范围为28-32°。

4.根据权利要求3所述的波浪纹型蓝宝石衬底，其特征在于：所述的三角圆锥体的角度为30°。

5.根据权利要求1所述的波浪纹型蓝宝石衬底，其特征在于：所述的蓝宝石衬底的尺寸为2英寸或4英寸或6英寸或12英寸。

6.一种用于如上任一权利要求所述的波浪纹型蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：在蓝宝石衬底上涂布光刻胶；

步骤2：用同心圆光刻板对光刻胶进行曝光、显影、烘烤，在光刻胶上形成光刻图形；

步骤3：使用电感藕合等离子刻蚀机进行干法刻蚀，使得蓝宝石衬底具有阵列分布的波浪纹型结构，所述波浪纹型结构的中心顶部为三角圆锥体；

步骤4：去掉残余的光刻胶，将蓝宝石衬底清洗干净。

7.根据权利要求6所述的波浪纹型蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于：所述的光刻胶是厚度为1.6-3.0μm的圆柱形正型或者负型光刻胶。

8.根据权利要求6所述的波浪纹型蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于：所述的同心圆光刻板，由至少3个等距离的同心圆环构成，内圆环直径为0.6-0.8μm，同心圆的间距为0.2-0.8μm。

9.根据权利要求6所述的波浪纹型蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于：所述的步骤2中，曝光时间为150-300ms，烘烤温度为120-150℃，烘烤时间为5-10min。

10.根据权利要求6所述的波浪纹型蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于：所述的步骤3分两步进行，第一步刻蚀的参数BCl₃和Ar的流量比为100:10，刻蚀时间为360-1080s，下电极功率为40-120W；第二步刻蚀的参数BCl₃和Ar的流量比为10:100，刻蚀时间为0-360s，下电极功率为140-420W。