[发明专利]一种基于超快激光的柔性电子材料板微小孔高速制造装置无效
| 申请号： | 201410100468.8 | 申请日： | 2014-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN103862167A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 梅雪松;王文君;赵万芹;姜歌东;王恪典;刘斌;潘爱飞 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B23K26/046 | 分类号： | B23K26/046;B23K26/382;B23K26/402 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 柔性 电子 材料 微小 高速 制造 装置 | ||
1.一种基于超快激光的柔性电子材料板微小孔高速制造装置，包括超快激光器（2），其特征在于：超快激光器（2）发出激光光束，经导光系统（3）完成激光器基本参数的调整和光路的分解和聚焦，激光光束照射在放置于机床运动系统（1）的加工台（6）上的样品上，在导光系统（3）和样品之间的光路旁边设有定位和监测系统（4），运动系统（1）、超快激光器（2）、导光系统（3）、定位和监测系统（4）、加工台（6）分别和控制系统（5）连接，定位和监测系统（4）实现对加工位置的精确定位及已加工微小孔的实时监测，控制系统（5）调整激光的各加工参数、样品的加工位置的定位并实现对加工区域的实时监测。
2.根据权利要求1所述的一种基于超快激光的柔性电子材料板微小孔高速制造装置，其特征在于：所述的导光系统（3）包括设置在激光光路上的快门（3-1）、衰减器（3-2）、光阑（3-3）、扫描振镜（3-4）、聚焦元件（3-5），激光光束依次经过快门（3-1）、衰减器（3-2）、光阑（3-3）、扫描振镜（3-4）、聚焦元件（3-5）后照射在样品上，通过快门（3-1）控制照射在样品上的脉冲数量；通过衰减器（3-2）控制光路上的能量的大小；通过光阑（3-3）调整光路上的光斑大小，通过扫描振镜（3-4）提高加工速度，从而提高加工效率；通过聚焦元件（3-5）将光束汇聚于样品表面，通过对不同聚焦元件（3-5）的选择，如聚焦透镜或物镜，获得不同大小的聚焦光斑直径。
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