[发明专利]硬件早期故障探测方法和装置

权利要求书

1.一种硬件早期故障探测方法，其特征在于包括：

获取晶片加工机床加工晶片的原始数据；

根据所述原始数据，统计所述晶片加工机床的预定事件信息，其中，所述预定事件信息包括：预定事件的类型和所述预定事件的出现频率；

根据所述预定事件信息，确定所述晶片加工机床中与所述类型所对应的硬件的早期故障状况。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预定事件包括：通过所述加工机床告警模块统计的异常告警事件，和/或，通过报废晶片综合数据状态系统统计的晶片报废事件。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述预定事件信息，确定所述晶片加工机床中与所述类型所对应的硬件的早期故障状况包括：

判断所述出现频率是否超出预定阈值；

在判断结果为超出预定阈值的情况下，确定所述类型所对应的硬件处于早期故障状态。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述预定事件信息，确定所述晶片加工机床中与所述类型所对应的硬件的早期故障状况包括：

将所述预定事件信息发送至故障模式和影响分析系统；

通过所述故障模式和影响分析系统，确定所述晶片加工机床中与所述类型所对应的硬件的早期故障状况。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，通过所述故障模式和影响分析系统，确定所述晶片加工机床中与所述类型所对应的硬件的早期故障状况包括：

所述故障模式和影响分析系统判断所述出现频率是否超出所述故障模式和影响分析系统中设置的预定阈值；

在判断结果为超出预定阈值的情况下，所述故障模式和影响分析系统根据所述类型确定处于早期故障状态的硬件。

6.根据权利要求2或4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

更换处于早期故障状态的硬件。

7.一种硬件早期故障探测装置，其特征在于包括：

获取模块，用于获取晶片加工机床加工晶片的原始数据；

统计模块，用于根据所述原始数据，统计所述晶片加工机床的预定事件信息，其中，所述预定事件信息包括：预定事件的类型和所述预定事件的出现频率；

确定模块，用于根据所述预定事件信息，确定所述晶片加工机床中与所述类型所对应的硬件的早期故障状况。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述确定模块包括：

判断单元，用于判断所述出现频率是否超出预定阈值；

确定单元，用于在判断结果为超出预定阈值的情况下，确定所述类型所对应的硬件处于早期故障状态。

9.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述确定模块包括：

发送单元，用于将所述预定事件信息发送至故障模式和影响分析系统；

第二确定单元，用于通过所述故障模式和影响分析系统，确定所述晶片加工机床中与所述类型所对应的硬件的早期故障状况。

10.根据权利要求8或9所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

更换模块，用于更换处于早期故障状态的硬件。