[发明专利]超薄型精密温控加热台无效

专利信息
申请号: 201410101118.3 申请日: 2014-03-18
公开(公告)号: CN103861676A 公开(公告)日: 2014-06-18
发明(设计)人: 刘军;王晓雷;刘欣;王晓伟 申请(专利权)人: 青岛汉源微电子有限公司
主分类号: B01L7/00 分类号: B01L7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266111 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 超薄型 精密 温控 加热
【说明书】:

 

技术领域

发明属于加热设备,具体涉及一种厚膜电路在线高温镜检用超薄型精密温控加热台。

 

背景技术

温控加热台是当今工业生产的重要设备之一,所属的行业不同,其性能指标也各不相同,甚至生产工艺、设计理念都完全不同。电子行业使用的温控加热台主要由加热台面、加热棒或加热管、热电偶、固定板、保护外罩和温控系统等组成,保护外罩与加热台面之间形成较大的间隙,隔离温度,保护操作者及其他配套仪器设备。

厚膜电路用于高温环境后,其高温性能参数与常温性能参数相比会发生重大变化。传统的精密温控加热台可模拟厚膜电路的高温使用环境,测试厚膜电路的高温性能,只有厚膜电路出现高温异常,芯片发生损伤后,通过测量电路的输出发现,出现此类现象,只能将测试受损伤的芯片取下,重新换上其他正常的元器件,再次测量。当温度恰好达到芯片的临界温度时,其损伤微小,损伤的扩展速率缓慢,通过测量电路的输出无法判断,只用通过显微镜放大观察芯片表面的变化发现。

受体视显微镜调节高度的限制,传统的精密温控加热台放到体视显微镜下加热时,没有足够的调节距离,无法看清厚膜电路表面,甚至会因为热量扩散而损坏显微镜。

 

发明内容

为了克服现有技术领域存在的上述问题,本发明的目的在于,提供一种超薄型精密温控加热台,总体高度不超过40mm,能够放置到体视显微镜,在线监测厚膜电路在高温时各种特性变化。

本发明提供的超薄型精密温控加热台,与控温系统连接,它包括发热部件、保温层、空气隔离层、聚四氟乙烯隔热板,所述保温层包覆于发热部件的四周和底面上,所述聚四氟乙烯隔热板设置于保温层下面,所述聚四氟乙烯隔热板与保温层之间为空气隔离层。

所述发热部件底部通过螺钉固定设有隔离罩,所述隔离罩与发热部件之间的间隙为保温层,且保温层内填充电子石棉,所述隔离罩上通过螺钉设有保护罩,且隔离罩与保护罩之间设有间隙,所述隔离罩与保护罩之间的间隙为空气隔离层,所述保护罩上通过螺钉设置聚四氟乙烯隔热板。

所述发热部件包括受热板、发热体、温度传感器、固定板,所述发热体为铠装电热器,所述受热板底部设有螺旋状盘旋槽,所述盘旋槽截面为矩形或半圆矩形或半圆形或梯形,发热体盘绕设置于受热板的盘旋槽内;所述发热部件包括受热板、发热体、温度传感器、固定板,所述发热体为铠装电热器,所述固定板上设有螺旋状盘旋槽,所述盘旋槽截面为矩形或半圆矩形或半圆形或梯形,发热体盘绕设置于固定板的盘旋槽内。螺旋状盘旋槽的宽度大于所述发热体直径,深度小于所述发热体直径。

所述发热部件的固定板上设有安装温度传感器的凹槽,所述凹槽截面为矩形或半圆矩形或半圆形或梯形,所述温度传感器为铠装铂电阻或铠装热电偶,温度传感器设置于固定板的凹槽内;所述发热部件的受热板侧面上设有圆形深孔,所述温度传感器为铠装铂电阻或铠装热电偶,温度传感器设置于受热板的圆形深孔内。

温控系统为与加热台分离的独立控制系统,通过导线与加热台相连。

本发明提供的超薄型精密温控加热台,其有益效果在于,该加热台结构简单,发热体布局均匀,通过保温层将热量集中,通过保护罩将隔热板与热源分离,能够在较短的距离内产生较高的温度梯度,具有总体高度低、使用温度高、台面温度均匀等优点,能够放置到体视显微镜,在线监测厚膜电路在高温时各种特性变化。

 

附图说明

图1是本发明超薄型精密温控加热台的整体结构示意图;

图2是本发明中发热部件实施例一的结构示意图;

图3是图2的A-A向剖视图;

图4是本发明中发热部件实施例二的结构示意图;

图5是本发明中发热部件实施例三的结构示意图;

图6是本发明中发热部件实施例四的结构示意图。

图中标注:

1.发热部件;2.保温层;3.空气隔离层;4.聚四氟乙烯隔热板;5.隔离罩;6.保护罩;7.受热板;8.发热体;9.温度传感器;10.固定板;11.受热板上板;12.受热板下板。

 

具体实施方式

下面参照附图,结合实施例,对本发明提供的超薄型精密温控加热台,进行详细的说明。

实施例一

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