[发明专利]带温度补偿的压力传感器校准方法

说明书

技术领域

本发明涉及压力传感器的校准方法，具体指一种带有温度补偿的压力传感器校准方法。

背景技术

扩散硅压阻式传感器已广泛应用于压力计、流量计等压力检测仪器仪表领域。扩散硅压力传感器的特性会随着温度的变化而变化，影响传感器感知压力的精准度，所以实际使用中需要通过对压力传感器进行校准，从而提高其精准度。影响扩散硅压阻式传感器特性的关键因素是零点漂移和灵敏度漂移。但是，现有的带温度补偿的压力传感器的校准方法还没有直接利用零点漂移和灵敏度漂移来对压力传感器进行温度补偿。直接利用特定温度点的零点漂移值和灵敏度漂移值对压力传感器进行温度补偿，是一种新的温度补偿方法，其方法简单，温度范围广，压力检测精度较高。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中所存在的上述不足，提供一种利用传感器的零点漂移和灵敏度漂移，通过温度补偿的方式校准传感器的方法。

为了实现上述发明目的，本发明提供了以下技术方案：

一种带温度补偿的压力传感器校准方法，通过利用所述传感器的零点漂移值和灵敏度漂移值进行传感器校准，其操作包括以下步骤：

步骤1：在常温T₀下，由压力源向压力传感器提供一组压力值P₀、P₁、P₂、...、P_m，并记录对应压力下压力传感器的AD值，AD₀、AD₁、AD₂、...AD_m，对应关系如下表一：

表-1

P(kpa)P₀P₁P₂...P_mADAD₀AD₁AD₂...AD_m

将该表的数据存入所述压力传感器的压力参数表中；

步骤2：根据步骤1中所得的数据，通过计算得到常温T₀下所述压力传感器的零点漂移值a_T0和灵敏度漂移值b_T0，计算公式为：