[发明专利]电子束光刻对准标记在芯片上的布局

权利要求书

1.一种电子束光刻对准标记在芯片上的布局，其特征在于，所述芯片包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域，所述第一区域包括所述芯片的中心，所述布局设置在所述第二区域，其包括，

设置在所述第二区域的若干个对准标识符；

相邻两个所述对准标识符之间设置有标识线。

2.根据权利要求1所述的布局，其特征在于，在每根所述标识线上设置有至少一条与所述标识线垂直交叉的短线，以形成辅助对准标识符，所述短线的长度至少满足对准扫描的需要。

3.根据权利要求1或2所述的布局，其特征在于，所述标识线的宽度既满足方便套刻对准时查看寻找的要求又满足不超过电子束光刻设备的一个视场。

4.根据权利要求1或2所述的布局，其特征在于，所述芯片为四方形，所述第一区域为所述芯片的中心区域，所述第二区域为所述芯片的边角区域，在所述边角区域的每个角落设置有一个对准标识符；

其中，所述边角区域尽可能地靠近所述芯片的边缘以便使得芯片的可用面积达到最大化。

5.根据权利要求1或2所述的布局，其特征在于，所述对准标识符与所述标识线之间存在间距。

6.根据权利要求1或2所述的布局，其特征在于，所述短线的宽度与所述标识线的宽度相同。

7.根据权利要求1或2所述的布局，其特征在于，在每根所述标识线上设置有至少两条所述短线，相邻两条短线之间的间隔在100微米以上。

8.根据权利要求4所述的布局，其特征在于，在所述芯片上建立直角坐标系，所述芯片的中心为所述直角坐标系的原点，所述对准标识符分别位于所述直角坐标系的第一象限、第二象限、第三象限和第四象限；其中，位于不同象限的对准标识符的中心到横向坐标轴的距离均相等，到竖向坐标轴的距离也相等。

9.根据权利要求1或2所述的布局，其特征在于，所述对准标识符为十字形。

10.根据权利要求9所述的布局，其特征在于，所述十字形的横线在水平方向上的长度为100微米、在竖直方向上的高度为10微米，所述十字形的竖线在水平方向上的宽度为10微米，在竖直方向上的高度为100微米。