[发明专利]柔性拉力传感器

权利要求书

1.一种柔性拉力传感器，用以检测第一方向的拉力，包括柔性衬底以及形成于所述柔性衬底上的检测电路，所述检测电路呈惠斯通电桥状，其特征在于，所述检测电路包括沿第一方向延伸的第一电桥和第二电桥、以及平行设置的第三电桥和第四电桥，所述第一电桥和第二电桥设有半导体电阻，所述第三电桥和第四电桥设有固定电阻。

2.根据权利要求1所述的柔性拉力传感器，其特征在于：所述第一电桥和第二电桥中设有相同数量的半导体电阻，所述第一电桥和第二电桥中的半导体电阻沿垂直第一方向的方向上对应设置。

3.根据权利要求1所述的柔性拉力传感器，其特征在于：所述柔性衬底的材质为聚二甲基硅氧烷、聚酰亚胺、聚氯乙烯或聚对苯二甲酸乙二醇酯。

4.根据权利要求1所述的柔性拉力传感器，其特征在于：所述固定电阻选自金属型碳纳米管、银纳米线或银浆。

5.根据权利要求1所述的柔性拉力传感器，其特征在于：所述半导体电阻选自半导体型碳纳米管或石墨烯。

6.根据权利要求1所述的柔性拉力传感器，其特征在于:所述第一电桥和第二电桥包括由电路引线串联的多个半导体电阻，所述第三电桥和第四电桥包括由电路引线串联的多个固定电阻，所述电路引线的材质选自银纳米线或银浆、铝或金。

7.根据权利要求1所述的柔性拉力传感器，其特征在于：所述第一电桥和第三电桥之间、以及第二电桥和第四电桥之间设有测试电极；所述第一电桥和第四电桥之间、以及第二电桥与第三电桥之间设有输入电极，所述测试电极和输入电极的材质选自银浆、铝或金。

8.根据权利要求1所述的柔性拉力传感器，其特征在于：所述第三电桥和第四电桥中设有相同数量的固定电阻。