[发明专利]利用气流溶液流涎薄膜制造装置

权利要求书

1.利用气流溶液流涎薄膜制造装置，其特征在于设有压缩机、气体过滤器、调压阀、输气管、封口塞、导气管、制备室、节流头、加热器、载物台、抽气管、节流阀、真空泵；所述压缩机出气口接气体过滤器入气口，气体过滤器出气口接调压阀入口；所述调压阀的出口通过输气管接导气管，导气管进口设有封口塞，导气管出口上安装节流头，节流头上设有圆孔；所述载物台用于放置要在其表面制备薄膜的基底，可以上下移动来调整基底到节流头的距离；所述加热器用于对形成的薄膜干燥；所述真空泵连接节流阀，用于抽取制备室里的气流，节流阀用于调节抽气速度；制备室依次经抽气管和节流阀接真空泵，加热器和载物台设在制备室内，加热器设在载物台上。

2.如权利要求1所述利用气流溶液流涎薄膜制造装置，其特征在于所述气体过滤器与调压阀之间设有第1压力表，用于显示进气压力值。

3.如权利要求1所述利用气流溶液流涎薄膜制造装置，其特征在于所述抽气管与节流阀之间设第2压力表。

4.如权利要求1所述利用气流溶液流涎薄膜制造装置，其特征在于所述压缩机产生的气压不小于2.5×10⁵Pa。

5.如权利要求1所述利用气流溶液流涎薄膜制造装置，其特征在于所述圆孔的直径小于2mm，圆孔的数量大于20。

6.如权利要求1所述利用气流溶液流涎薄膜制造装置，其特征在于所述载物台为可上下移动的平台。

7.如权利要求1所述利用气流溶液流涎薄膜制造装置，其特征在于所述载物台放置的基底离节流头距离为1～3cm。

8.如权利要求1所述利用气流溶液流涎薄膜制造装置，其特征在于所述真空泵使制备室里的气压小于1Pa。