[发明专利]振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够降低由加速度等外力引起的振动特性的变化，发挥稳定的振动特性。振动元件（1）具有包含振动部（21）和厚度比振动部（21）厚的厚壁部（22）的压电基板（2）。此外，厚壁部（22）具有沿着振动部（21）的第1外缘（211）设置的第1厚壁部（23）、沿着第2外缘（212）设置的第2厚壁部（24）以及沿着第3外缘（213）设置的第3厚壁部（25），在压电基板（2）的连接第2厚壁部（24）和第3厚壁部（25）的角部上，设有分别相对于X轴方向和Z’轴方向这两个方向倾斜的第1倾斜外缘部（26）。

技术领域

本发明涉及振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。

背景技术

关于AT切石英振动元件，由于激励的主振动的振动模式是厚度剪切振动，适合小型化、高频率化，并且频率温度特性呈优良的三次曲线，因此被用于压电振荡器、电子设备等多个方面。

专利文献1中公开有具有薄壁的振动部和设于振动部的全周上的厚壁部的倒台面构造的AT切石英振动元件，该AT切石英振动元件在所述厚壁部的一端部通过粘接剂被固定在封装上。在AT切石英振动元件被悬臂支撑的状态下，对AT切石英振动元件施加厚度方向的加速度时，前端部（振动部）发生变形，存在振动特性（频率特性）不稳定的问题。特别是在专利文献1所述的AT切石英振动元件中，在振动部的整个周围形成有厚壁部，前端部的重量较重，因此对加速度的影响较大，相应地，频率的偏离量也变大。另外，为了减轻上述那样的前端部（振动部）的变形，考虑增厚厚壁部的厚度来提高刚性，但是，当增厚厚壁部的厚度时，基于湿式蚀刻的振动部的形成精度降低，产生所得到的振动元件的振动特性无法收敛于规定的特性的问题。

专利文献1：日本特开2002-198772号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够降低大型化（厚壁化），并且降低由加速度（振动）等外力引起的振动特性的变化，能够发挥稳定的振动特性。

本发明正是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的应用例而实现。

［应用例1］

本应用例的振动元件的特征在于，该振动元件包含：

基板，其包含第1区域和第2区域，该第1区域包含以厚度剪切振动的方式进行振动的振动区域，该第2区域与所述第1区域一体，厚度比所述第1区域厚；以及

激励电极，其分别设于所述振动区域的彼此处于正反关系的第1主面和第2主面，

所述第1区域包含：

第1外缘和第2外缘，它们在所述厚度剪切振动的振动方向上隔开，并与所述振动方向交叉；以及

第3外缘和第4外缘，它们在与所述振动方向垂直的方向上隔开，

所述第2区域包含：

第1厚壁部，其沿着所述第1外缘设置，设置有固定于对象物的固定部；

第2厚壁部，其沿着所述第2外缘设置；以及

第3厚壁部，其沿着所述第3外缘设置，并且，与所述第1厚壁部和所述第2厚壁部连接，

在所述基板的连接所述第2厚壁部和所述第3厚壁部的连接部上，设置有在俯视时相对于所述振动方向和与所述振动方向垂直的方向交叉的第1外缘部。

由此，可得到能够降低前端侧（固定部的相反侧）的质量，降低由加速度（振动）等外力引起的振动特性的变化，发挥稳定的振动特性的振动元件。此外，能够降低厚壁部的厚度，能够降低振动元件的大型化。

［应用例2］