[发明专利]铝材真空镀膜工艺

权利要求书

1.一种铝材真空镀膜工艺，其特征在于，依次包括以下步骤：

除油清洗，将压铸成型、机械加工并对表面抛光处理的铝材零件进行除油清洗，用专用除油剂或用碳酸钠和磷酸钠，加入水中拌匀，并将铝材零件放入加热到70-80℃的除油液中，再用清水清净；

阳极氧化，将铝材零件表面进行硬质阳极氧化处理，电解液为10-20%硫酸水溶液，液体温度控制在0-10℃，电流密度1-3A/dm²，氧化时间为20-30分钟，生成氧化铝膜层5-20um；

清洗烘干，对氧化处理后的铝材零件行清洗烘干；

机械抛光，用布轮或尼龙轮涂上抛光腊进行机械抛光，抛光后放入除腊液池中加热70-80℃进行浸渍；

超声波清洗，在超声波清洗设备中用纯水清洗，并加热至50-70℃后清洗；

烘干，铝材零件清洗后用隧道式加热炉，高温区温度范围在120-180℃，低温区用吹风去水，以防水渍产生，小件铝材零件用离心烘干机烘干；

真空机镀膜，使用直流或中频磁控溅射真空镀膜机对铝材零件进行真空镀膜，铝材零件放置在真空机的真空炉中，抽真空至8-10PA，对铝材零件进行轰击清洗，并通入氩气对真空度进行调整，轰击完成后，取消轰击电压，关闭氩气，再启动钛靶和铬靶溅射10-20分钟完成该金属层。

2.根据权利要求1所述的铝材真空镀膜工艺，其特征在于：所述的真空机对铝材零件进行镀上钛铬金属层后，再往真空室内放入氮或乙炔，该气体与原有氩气比例为1：1，调整真空室工作压力为1.3×10^-1-1.8×10^-1PA，电镀时间约10-30分钟，在原有的钛铬金属层基础上形成一层氮化钛或碳化钛的非金属层。

3.根据权利要求2所述的铝材真空镀膜工艺，其特征在于：所述非金属层的厚度为50-200nm。

4.根据权利要求1所述的铝材真空镀膜工艺，其特征在于：控制真空镀膜的温度在100℃以下，以保证不会造成镀层缩边或爆皮。

5.根据权利要求1所述的铝材真空镀膜工艺，其特征在于：铝材零件进行真空镀膜过程中，对铝材零件进行轰击采用的电压为3000V。

6.根据权利要求1所述的铝材真空镀膜工艺，其特征在于：所述钛铬金属层中组分按重量比，钛的含量为50%，铬的含量为50%。

7.根据权利要求6所述的铝材真空镀膜工艺，其特征在于：所述钛铬金属层的厚度为50-200nm。

8.根据权利要求1所述的铝材真空镀膜工艺，其特征在于：所述的真空机进行镀膜工作时，钛靶和铬靶溅射镀膜时工作压力的真空度控制在0.2PA以上，通入氩气进行调整到真空室真空压力为1.5×10^-1PA。