[发明专利]一种新型在线检测紫外光源

说明书

技术领域：

本发明涉及仪器仪表技术领域，具体涉及一种新型在线检测紫外光源。

背景技术：

紫外线光源是紫外线技术的重要组成部分，紫外线技术的发展往往依赖于紫外线光源的发展。当出现了适用的新型紫外线光源时，必然可以促进某种行业的发展。例如光栅的制造。光栅是大型精密光学仪器的重要分光元件。世界上有许多国家不能制造精密仪器，与不能制造高分辨率色散率的光栅有关，要使光栅具备很高的分辨率，就必须要掌握高密度刻线技术(如每毫米几千条等距离平行线)，要刻这么多的线数，就必须有高强度的短波紫外光源(200～300毫微米)对应的光刻胶进行曝光。同样在高频大功率固体器件和大规模集成电路上也与紫外曝光光刻技术的发展分不开。目前在光学研究上取得了很大进展，这同紫外线光源的发展也是分不开的。紫外光源作为一个元器件，在各个领域正发挥着它的重要作用。

目前的在线监测设备中常用到紫外光源，但现有的紫外光源大多结构复杂，体积较大，且散热性能较差，影响整机的性能。

发明内容：

本发明的目的是提供一种新型在线检测紫外光源，它设计新颖合理，结构紧凑，体积较小，且散热性能好，大大提高了整机性能，安全性高，适用范围广泛。

为了解决背景技术所存在的问题，本发明是采用以下技术方案：它包含通气散热孔1、安装孔2、光源壳3、汞齐4、反射网5、磁耦合器6、紫外光发生器7、散热器8和光源座9，光源座9的中心位置同轴设置有通气散热孔1，光源座9的边缘均布数个安装孔2，光源座9与散热器8连为一体，且散热器8的前端外壁设置有磁耦合器6，磁耦合器6外侧设置有汞齐4和紫外光发生器7，汞齐4和紫外光发生器7的前端设置有反射网5，且汞齐4、紫外光发生器7、反射网5的外侧安装有光源壳3，光源壳3的底端与光源座9插接固定。

本发明设计新颖合理，结构紧凑，体积较小，且散热性能好，大大提高了整机性能，安全性高，适用范围广泛。

附图说明：

图1为本发明的结构示意图，

图2为图1的仰视图，

图3为图2的A-A向剖视图。

具体实施方式：

参照图1-图3，本具体实施方式采用以下技术方案：它包含通气散热孔1、安装孔2、光源壳3、汞齐4、反射网5、磁耦合器6、紫外光发生器7、散热器8和光源座9，光源座9的中心位置同轴设置有通气散热孔1，光源座9的边缘均布数个安装孔2，光源座9与散热器8连为一体，且散热器8的前端外壁设置有磁耦合器6，磁耦合器6外侧设置有汞齐4和紫外光发生器7，汞齐4和紫外光发生器7的前端设置有反射网5，且汞齐4、紫外光发生器7、反射网5的外侧安装有光源壳3，光源壳3的底端与光源座9插接固定。

本具体实施方式设计新颖合理，结构紧凑，体积较小，且散热性能好，大大提高了整机性能，安全性高，适用范围广泛。