[发明专利]浸没式光刻机中浸液传送系统的控制时序的模型匹配方法

权利要求书

1.一种浸没式光刻机中浸液传送系统的控制时序的模型匹配方法，其特征在于：将浸液传送系统的时序控制过程当作状态机构建符合浸没传送系统时序控制过程的扩展有限状态机模型；通过将接收到的系统信息输入量与扩展有限状态机模型进行匹配，实现对浸没式光刻机浸液传送系统的当前状态、控制时序以及当前状态所对应的下一步控制操作进行同时定位。

2.根据权利要求1所述的一种浸没式光刻机中浸液传送系统的控制时序的模型匹配方法，其特征在于：所述的扩展有限状态机模型的构建包括：

1.1）根据浸液传送系统整个运行过程中的不同状态建立有限状态集合Q以及各个状态下所对应的控制操作集合C、有限状态判断标识集合QF、控制操作标识集合CF和系统时序标识集合T共五个集合：

有限状态集合，用于描述系统整个运行过程中的不同状态；

控制操作集合，用于描述系统当前状态所对应的控制操作；

有限状态判断标识集合，用于判断系统当前状态的标识；

控制操作标识集合，用于判断系统当前状态所对应的操作是否已完成；

系统时序标志集合，用于判断系统当前运行时序的标识；

1.2）穷举有限状态集合Q、控制操作集合C、有限状态判断标识集合QF、控制操作标识集合CF、系统时序标志集合T；

1.3）在所有状态之间的各个跳转关系下，根据上述有限状态集合Q、控制操作集合C、有限状态判断标识集合QF、控制操作标识集合CF、系统时序标志集合T之间的关系建立符合扩展有限状态机模型的各个实例；

1.4）筛选出重复性的扩展有限状态机模型的实例，调整有限状态判断标识集合QF、控制操作标识集合CF和系统时序标志集合T使得每一个扩展有限状态机模型的实例为唯一；如果无法调整上述的三个集合，则通过增加额外变量标识，使得每一个扩展有限状态机模型的实例为唯一。

3.根据权利要求1所述的一种浸没式光刻机中浸液传送系统的控制时序的模型匹配方法，其特征在于：所述的将接收到的系统信息输入量与扩展有限状态机模型进行匹配包括：

2.1）将接收到的系统信息输入量进行预判断，如果系统信息输入量需要与扩展有限状态机模型进行匹配，则进行下一步骤；如果不需要匹配，则不进行任何操作；

2.2）将系统信息输入量与所对应的扩展有限状态机模型实例中具有唯一性特征的变量标识或者变量标识集合进行匹配。

4.根据权利要求1所述的一种浸没式光刻机中浸液传送系统的控制时序的模型匹配方法，其特征在于：所述的模型匹配方法用于浸没式光刻机浸液传送系统下的一个或多个分系统。

5.根据权利要求2所述的一种浸没式光刻机中浸液传送系统的控制时序的模型匹配方法，其特征在于：所述的扩展有限状态机模型的实例之间采用结构体变量地址和枚举变量地址的寻址方式进行识别。

6.根据权利要求3所述的一种浸没式光刻机中浸液传送系统的控制时序的模型匹配方法，其特征在于：所述的具有唯一性特征的变量或者变量集合为使得该扩展有限状态机模型的实例为唯一的变量标识或者变量标识集合。